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原廠HORIBA堀場(chǎng) 通用型數(shù)字質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列
原廠HORIBA堀場(chǎng) 通用型數(shù)字質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列
數(shù)字質(zhì)量流量控制器型號(hào),配備多范圍/多氣體功能,允許用戶更改氣體類型和流量范圍。
實(shí)現(xiàn)±1.0%SP的高精度、全量程1秒內(nèi)高速響應(yīng)、5SCCM~500SLM的寬量程。通訊方式可以從數(shù)字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通訊中選擇。該質(zhì)量流量控制器不僅適用于先進(jìn)工藝,而且適用于各種制造工藝。
多量程/多氣體兼容。
氣體類型和滿量程流量可在用戶側(cè)更改。通過減少備件數(shù)量,有助于降低成本。
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
±1.0% SP(設(shè)定點(diǎn))
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,
可選擇的通信方式
陣容:數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®
通訊方式 驅(qū)動(dòng)電源 產(chǎn)品型號(hào)
數(shù)字通訊
?RS-485 F-Net協(xié)議
模擬通訊
?0~5VDC
±15VDC(±5%) * SEC-N102系列
DeviceNetTM通訊 ODVA標(biāo)準(zhǔn) SEC-N104系列
CC-Link® 通訊
模擬通訊
?0~5VDC 0~10VDC
?4~20mA
24VDC(13 ~ 32VDC) SEC-N105系列
現(xiàn)場(chǎng)總線通訊
模擬通訊
?0~5VDC 0~10VDC
?4~20mA
現(xiàn)場(chǎng)總線標(biāo)準(zhǔn)
24VDC(13~32VDC)
SEC-N106系列
EtherCAT®通信
EtherCAT標(biāo)準(zhǔn)
24VDC+/-4V
SEC-N107系列
可滾動(dòng)的
寬廣的流量控制范圍,從 10 SCCM 到 1000 SLM
流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行。
高精度:±1.0% 提高 SP 流量精度
配備數(shù)字校正功能,實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度
全流量范圍快速響應(yīng):1秒內(nèi)完成全量程
配備多氣體/多量程功能,
允許用戶改變氣體類型和滿量程流量??蛇x擇的通信方式
陣容:數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®
通訊方式 驅(qū)動(dòng)電源 產(chǎn)品型號(hào)
數(shù)字通訊
?RS-485 F-Net協(xié)議
模擬通訊
?0~5VDC
±15VDC(±5%) * SEC-N102系列
DeviceNetTM通訊 ODVA標(biāo)準(zhǔn) SEC-N104系列
CC-Link® 通訊
模擬通訊
?0~5VDC 0~10VDC
?4~20mA
24VDC(13 ~ 32VDC) SEC-N105系列
場(chǎng)總線通訊
模擬通訊
?0~5VDC 0~10VDC
?4~20mA
現(xiàn)場(chǎng)總線標(biāo)準(zhǔn)
24VDC(13~32VDC)
SEC-N106系列
EtherCAT®通信
EtherCAT標(biāo)準(zhǔn)
24VDC+/-4V
SEC-N107系列
可滾動(dòng)的
寬廣的流量控制范圍,從 10 SCCM 到 1000 SLM
流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行
高精度:±1.0% 提高 SP 流量精度
配備數(shù)字校正功能,實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度
全流量范圍快速響應(yīng):1秒內(nèi)完成全量程
配備多氣體/多量程功能,
允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。
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