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原裝HORIBA堀場 微流質(zhì)量流量模塊 D700UF

簡要描述:原裝HORIBA堀場 微流質(zhì)量流量模塊 D700UF
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
±1.0% SP(設(shè)定點)
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,
面間距106mm(50SLM以下,1/4VCR型),兼容1.125英寸燃?xì)饷姘濉?/br>采用超潔凈兼容
氣體接觸部分,全不銹鋼結(jié)構(gòu),標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)部拋光處理。

  • 產(chǎn)品型號:D700-UF
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-07
  • 訪  問  量:78
詳情介紹

原裝HORIBA堀場 微流質(zhì)量流量模塊 D700UF

流量控制最小為0.025SCCM

可對調(diào)諧氣體等低流量氣體進(jìn)行精密控制。

100毫秒或更短的高速響應(yīng),減少了MFC之間的機器差異,

提高了生產(chǎn)率并提高了工藝性能。

流量測量的內(nèi)部生產(chǎn)

所有制造的產(chǎn)品都表現(xiàn)出高可靠性。

狀態(tài)監(jiān)控功能

提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)并實現(xiàn)更智能的故障預(yù)測。

PFA 閥門具有出色的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能

減少停機時間并優(yōu)化產(chǎn)量。


原裝HORIBA堀場 微流質(zhì)量流量模塊 D700UF

數(shù)字質(zhì)量流量控制器型號,配備多范圍/多氣體功能,允許用戶更改氣體類型和流量范圍。

實現(xiàn)±1.0%SP的高精度、全量程1秒內(nèi)高速響應(yīng)、5SCCM~500SLM的寬量程。通訊方式可以從數(shù)字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通訊中選擇。該質(zhì)量流量控制器不僅適用于先進(jìn)工藝,而且適用于各種制造工藝。

多量程/多氣體兼容。

氣體類型和滿量程流量可在用戶側(cè)更改。通過減少備件數(shù)量,有助于降低成本。

從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制

保證高精度

±1.0% SP(設(shè)定點)

1秒內(nèi)高速響應(yīng)

全量程(T98)

尺寸緊湊,

可選擇的通信方式

陣容:數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通訊方式    驅(qū)動電源    產(chǎn)品型號

數(shù)字通訊

可滾動的

寬廣的流量控制范圍,從 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行

高精度:±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數(shù)字校正功能,實現(xiàn)設(shè)定點精度

全流量范圍快速響應(yīng):1秒內(nèi)完成全量程

配備多氣體/多量程功能,

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。



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