簡要描述:全新HORIBA堀場 數(shù)字質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500X系列從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制保證高精度±1.0% SP(設(shè)定點)1秒內(nèi)高速響應(yīng)全量程(T98) 尺寸緊湊,面間距106mm(50SLM以下,1/4VCR型),兼容1.125英寸燃氣面板。采用超潔凈兼容氣體接觸部分,全不銹鋼結(jié)構(gòu),標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)部拋光處理。
全新HORIBA堀場 數(shù)字質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500X系列
全新HORIBA堀場 數(shù)字質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500X系列
數(shù)字質(zhì)量流量控制器型號,配備多范圍/多氣體功能,允許用戶更改氣體類型和流量范圍。
實現(xiàn)±1.0%SP的高精度、全量程1秒內(nèi)高速響應(yīng)、5SCCM~500SLM的寬量程。通訊方式可以從數(shù)字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通訊中選擇。該質(zhì)量流量控制器不僅適用于先進工藝,而且適用于各種制造工藝。
多量程/多氣體兼容。
氣體類型和滿量程流量可在用戶側(cè)更改。通過減少備件數(shù)量,有助于降低成本。
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
±1.0% SP(設(shè)定點)
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,
面間距106mm(50SLM以下,1/4VCR型),兼容1.125英寸燃氣面板。
采用超潔凈兼容
氣體接觸部分,全不銹鋼結(jié)構(gòu),標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)部拋光處理。
日本Horiba STEC SEC-Z500系列氣體質(zhì)量流量控制器適用于提高工藝產(chǎn)量和簡化零件管理。數(shù)字/模擬、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。
日本Horiba STEC SEC-Z500系列氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介:
SEC-Z500X是HORIBA暢銷的數(shù)字質(zhì)量流量控制器模型。它具有多范圍/多氣體功能,使用戶能夠快速、方便地改變氣體類型或現(xiàn)場全流量。
該質(zhì)量流量控制器具有高精度+/-1.0%S.P、壓電致動閥、高速響應(yīng)和全金屬特性,適用于提高工藝產(chǎn)量和簡化零件管理。數(shù)字/模擬、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。
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