簡(jiǎn)要描述:ULVAC愛發(fā)科 ST200-R 復(fù)合電離真空計(jì) 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
ULVAC愛發(fā)科 ST200-R 復(fù)合電離真空計(jì)
ULVAC愛發(fā)科 ST200-R 復(fù)合電離真空計(jì)
操作性的提高:通過與PC/智能手機(jī)的連接,可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測(cè)燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測(cè)量范圍:復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測(cè)定子。
小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級(jí)別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺(tái)三極管金屬電離真空計(jì)(正在申請(qǐng)):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計(jì)的使用壽命也很長(zhǎng)。
壓力測(cè)量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
可以精確的測(cè)量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí))。
用途
用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測(cè)量
用于在真空零件加工時(shí)殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量
用于需要降低測(cè)定子更換頻率的真空設(shè)備
真空防潮箱由真空泵制造商提供。這是 "G-TRAN系列復(fù)合電離真空計(jì)"的新型號(hào),可以實(shí)現(xiàn)不同的測(cè)量范圍。作為三極管電離真空計(jì),該產(chǎn)品不易發(fā)生靈敏度下降,即使在真空計(jì)的惡劣環(huán)境下,也能實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)時(shí)間、更精確的真空測(cè)量。在保留以往高壽命、低運(yùn)行成本理念的基礎(chǔ)上,進(jìn)行了改進(jìn),更加人性化。
操作性的提高:通過與PC/智能手機(jī)的連接,可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測(cè)燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測(cè)量范圍:復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測(cè)定子。
小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級(jí)別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格(ST200-A)和串行通信規(guī)格(ST200-R)之外,還將增加EtherCAT規(guī)格(ST200-E)。
一臺(tái)三極管金屬電離真空計(jì)(正在申請(qǐng) ):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計(jì)的使用壽命也很長(zhǎng)。
壓力測(cè)量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
可以精確的測(cè)量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí))。
用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測(cè)量
用于在真空零件加工時(shí)殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量
用于需要降低測(cè)定子更換頻率的真空設(shè)備
※在腐蝕性氣體(鹵素氣體)環(huán)境中使用時(shí)請(qǐng)咨詢我們。
型號(hào) | ST200-A | ST200-R | ST200-E (即將上市) | |
規(guī)格 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串口通信規(guī)格 | EtherCAT規(guī)格 | |
適應(yīng)多離子傳感器 | SWT-16(NW16), SWT-25(NW25) | |||
可以連接的傳感器 | 多離子傳感器:1本 皮拉尼真空計(jì)SWU10-R:1本(可選) 大其他傳感器SAU:1本(可選) | |||
測(cè)量精度(N2) | ST200本體模式:±2% | |||
取樣時(shí)間 | 60ms 5回 移動(dòng)平均処理 | |||
測(cè)定値出力 | 出力電壓 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁 圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
更新時(shí)間 | 60msec | |||
控制輸入信號(hào) | FIL ON/OFF, DEGAS ON/OFF 打開集電極動(dòng)作、負(fù)邏輯 | - | - | |
制御出力信號(hào) | 傳感器錯(cuò)誤,設(shè)定點(diǎn)1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控 定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V | - | - | |
串行通信規(guī)格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
LED顯示 | POWER/ERROR: 電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化) | |||
發(fā)射電流 | 2mA (1×10-2Pa以下), 10μA (1×10-2Pa以上) | |||
DEGAS | 電子轟擊脫離方法(電子轟擊)1mA、330V | |||
測(cè)量部耐圧性 | 2×10+5Pa (絕對(duì)壓力) * 需要單獨(dú)考慮法蘭和夾具等的耐壓性 | |||
傳感器內(nèi)部容量 | 17cm3(SWT-16), 19cm3(SWT-25) | |||
使用溫度范圍 | 10~50℃ | |||
使用濕度范圍 | 15~80%(不結(jié)露) | |||
保管溫度 | -20~65℃(非通電時(shí)、不結(jié)露) | |||
IP保護(hù)等級(jí) | IP30 | |||
電源電壓 | DC20~28V (波紋,噪音1%以下) 8W以下 | |||
輸入/輸出連接器 | D-sub15銷(M2.6螺絲) | |||
重量 | 調(diào)節(jié)器:約280g 測(cè)定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g | |||
外形尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm (控制器部分) | |||
適合規(guī)格 | CE | |||
選項(xiàng) | 多離子傳感器 | SWT-16(NW16), SWT-25(NW25) 材質(zhì):燈絲1,2 -Ir/Y2O3殼, 其他:PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni電鍍 | ||
皮拉尼真空計(jì)傳感器 | SWU10-R ※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。 | |||
皮拉尼真空計(jì) | SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034) 材質(zhì):燈絲-Pt, 其他-BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接 | |||
大氣壓傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì):SUS316L | |||
單位電纜 | GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m, GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m | |||
顯示單元 | 1CH:ISG1 (DC24V電源使用) | |||
顯示單元電纜 | ST200~顯示單元電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m | |||
連接器 | 入出力連接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺絲)) | |||
其他 | 検査成績(jī)書, 一般校正試験成績(jī)書, JCSS校正証明書 |
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