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ULVAC愛發(fā)科 ST200-A 熱陰極電離真空計

簡要描述:ULVAC愛發(fā)科 ST200-A 熱陰極電離真空計
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

  • 產(chǎn)品型號:全新
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-04
  • 訪  問  量:111
詳情介紹

ULVAC愛發(fā)科 ST200-A  熱陰極電離真空計

ULVAC愛發(fā)科 ST200-A  熱陰極電離真空計

操作性的提高:通過與PC/智能手機的連接,可以進行設定點設置、狀態(tài)確認等。

燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍:復合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計(正在申請):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。

可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當連接了可選的單元SAU時)。

用途

用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設備的極限壓力確認

用于在含有多種碳氫化合物(油類)的環(huán)境中進行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設備

真空防潮箱由真空泵制造商提供。

規(guī)格

型號ST200-AST200-RST200-E
(即將上市)
規(guī)格標準規(guī)格串口通信規(guī)格EtherCAT規(guī)格
適應多離子傳感器SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
可以連接的傳感器多離子傳感器:1本
皮拉尼真空計SWU10-R:1本(可選)
大其他傳感器SAU:1本(可選)
測量精度(N2ST200本體模式:±2%
取樣時間60ms 5回 移動平均処理
測定値出力出力電壓 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新時間60msec
控制輸入信號FIL ON/OFF, DEGAS ON/OFF
打開集電極動作、負邏輯
--
制御出力信號傳感器錯誤,設定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
--
串行通信規(guī)格-RS232C/RS-485EtherCAT
LED顯示POWER/ERROR: 電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)
發(fā)射電流2mA (1×10-2Pa以下), 10μA (1×10-2Pa以上)
DEGAS電子轟擊脫離方法(電子轟擊)1mA、330V
測量部耐圧性2×10+5Pa (絕對壓力)
* 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性
傳感器內部容量17cm3(SWT-16), 19cm3(SWT-25)
使用溫度范圍10~50℃
使用濕度范圍15~80%(不結露)
保管溫度-20~65℃(非通電時、不結露)
IP保護等級IP30
電源電壓DC20~28V (波紋,噪音1%以下) 
8W以下
輸入/輸出連接器D-sub15銷(M2.6螺絲)
重量調節(jié)器:約280g 測定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H69mm×63mm×90mm (控制器部分)
適合規(guī)格CE
選項多離子傳感器SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
材質:燈絲1,2 -Ir/Y2O3殼,
其他:PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni電鍍
皮拉尼真空計傳感器SWU10-R ※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。
皮拉尼真空計SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材質:燈絲-Pt, 其他-BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接
大氣壓傳感器SAU(NW16) 材質:SUS316L
單位電纜GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m, GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m
顯示單元1CH:ISG1 (DC24V電源使用)
顯示單元電纜ST200~顯示單元電纜
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
連接器入出力連接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺絲))
其他検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書


各種模式規(guī)格

ST200-A/ST200-R/ST200-E有3種方式可選,多規(guī)格單體模式、皮拉尼真空計的組合模式、皮拉尼真空計或大氣壓傳感器的三重組合模式

模式ST200-A/ST200-R/ST200-E
單體模式
ST200-A/ST200-R/ST200-E+SWU10-R
組合模式
ST200-A/ST200-R/ST200-E+SWU10-R+SAU
組合模式
測量圧力范圍1.0×10-5 to 1.0×10+1Pa1.0×10-5 to 1.0×10+5Pa1.0×10-5 to 1.0×10+5Pa
測量精度1.0×10-4 to 3.0×10+0Pa:
±10%
1.0×10-4 to 1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa:±20%
1.0×10-4 to 1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa:±3%F.S.(3.0×10+3Pa?基準溫度25℃)



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