簡要描述:ULVAC愛發(fā)科 SP1 真空計測量單元 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
ULVAC愛發(fā)科 SP1 真空計測量單元
ULVAC愛發(fā)科 SP1 真空計測量單元
操作性的提高:通過與PC/智能手機的連接,可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。
小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計(正在申請):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時)。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳氫化合物(油類)的環(huán)境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備
真空防潮箱由真空泵制造商提供。
傳感器規(guī)格:如果需要壓力
·空白計劃降低
·控制板空間節(jié)省
·配線簡化
確定子更換眼睛
燈絲采用耐腐蝕材料鉑
其中一個使用的測量組件(SP1:WP-01,02,03,16)稍后使用
可以輸出2個設(shè)定點
SP1:壓力為0至5 V輸出(非輸出)
電源電壓:24 VDC輸入
用于半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
類型 | 傳感器單元 |
模型 | SP1 |
兼容傳感器頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
準(zhǔn)確性 | ±15 %(51帕~760帕) |
±30 %(10帕~1000帕) | |
±50 %(0.4帕~3000帕) | |
工作溫度范圍 | 10~40℃ |
測量值輸出 | 非線性輸出:0至5VDC(最大10V) |
設(shè)定點 1/2 壓力設(shè)定調(diào)整監(jiān)視器 | 非線性輸出:0至5VDC(最大10V) |
控制輸出信號 | 開路集電極輸出,負邏輯 |
錯誤信號 | |
設(shè)定點 1/2 | |
LED 顯示屏 | 電源、錯誤、設(shè)定點 1、設(shè)定點 2 |
電源電壓 | DC24V±2V, 90mA(最大) |
輸入/輸出連接器 | D-sub-15P(M2.6螺絲) |
重量 | 190g /0.41lb(不包括傳感器頭) |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 輸入/輸出連接器 1個 |
快速手冊 1本 |
IO和模擬GND與電源GND不隔離。
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