簡要描述:ULVAC愛發(fā)科 SW1-2 真空計傳感器類型 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
ULVAC愛發(fā)科 SW1-2 真空計傳感器類型
ULVAC愛發(fā)科 SW1-2 真空計傳感器類型
操作性的提高:通過與PC/智能手機的連接,可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。
燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。
小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計(正在申請):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當連接了可選的單元SAU時)。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認
用于在含有多種碳氫化合物(油類)的環(huán)境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備
真空防潮箱由真空泵制造商提供。
太陽能電池?FPD?半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備
用于設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于有振動·沖擊的各種真空排氣系統(tǒng)
模型 | SW1-1 | SW1-2 |
可連接傳感器頭 | 1個 | |
兼容傳感器頭 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(φ18)、SWP-P15(φ15)、SWP-CF16(ICF034)、SWP-1S(ASME BPE衛(wèi)生級1") | |
可測壓力范圍 | 5.0×10 -2 ~ 1.0×10 +5 Pa(Pa(表示范囲:1.0×10 -2 ~ 1.2×10 +5 Pa) | |
準確性* | 1×10 -1 Pa ~ 1×10 +4 Pa : ±10% | |
5.0×10 -2 ~ 1.0×10 -1 Pa、1×10 +4 Pa ~ 1×10 +5 Pa:±20% | ||
重復(fù)性 | 1×10 -1 Pa ~ 1×10 +4 Pa : ±2% | |
采樣時間 | 50ms 5回の移動平均處理 | |
值輸出 | 輸出電壓DC0至10V | |
壓力指示(對數(shù))1.7V 至 8.0V 1V/十倍 | ||
(更新時間)50ms | ||
控制輸入信號 | 開路集電極輸入,負邏輯 | - |
ADJ調(diào)整(零點、大氣調(diào)整) | - | |
控制輸出信號 | 開路集電極輸出,負邏輯 [額定值:30VMAX、50mAMAX、70mW] | - |
錯誤信號 | - | |
設(shè)定點 1、2 | - | |
監(jiān)控設(shè)定點 | 設(shè)定點1、2:0至10V日志輸出 | - |
串行通訊類型 | - | RS232C/RS485 |
LED 顯示屏 | 電源/錯誤:電源錯誤 LED | |
SET-1:設(shè)定點1LED | - | |
SET-2:設(shè)定點2LED | - | |
燈絲材質(zhì) | 鉑 | |
工作溫度范圍 | 10~40℃ | |
工作濕度范圍 | 15~80% (無凝露) | |
IP 等級 | IP30(傳感器單元) | |
固定位置 | 自由的 | |
電源電壓 | DC18V ~ 30V,2W(含電源輸入4.8W) | |
輸入/輸出連接器 | D-sub 15 針(M2.6mm 螺絲)- 側(cè)面?zhèn)鞲衅鲉卧?/span> | |
重量 | 150克(含SWP-16) | |
尺寸(電源)寬×深×高 | 70毫米×46毫米×28毫米 | |
標準配件 | 快速手冊 | |
選項 | 輸入/輸出連接器(D-sub 15 插座(M2.6mm 螺絲))、檢查結(jié)果數(shù)據(jù)表、一般校準測試報告、JCSS 校準證書 | |
適用標準 | CE |
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