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新品ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵PST 系列

簡要描述:新品ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵PST 系列
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

  • 產(chǎn)品型號:PST-030CU
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-12
  • 訪  問  量:80
詳情介紹

新品ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵PST 系列

新品ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵PST 系列

使用 安裝組件可無需支架直接搭載

標配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。

內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。

特點

安裝方向自由

安裝方向沒有限制,擴展了設備設計的自由度。

搭載控制器

控制器安裝在主體上,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。

高壓縮比?高排氣圧力

高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現(xiàn)小型化。

三種法蘭可供選擇

VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

清潔真空

在運行時以及泵停止時,碳氫化合物的回流很少。

用途

分析設備、研究開發(fā)設備、實驗設備等的主排氣系統(tǒng)

蒸發(fā)設備、濺射設備等著排氣系統(tǒng)

H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)

規(guī)格

型號PST-030CUPST-030AUPST-050CUPST-050AUPST-100CXPST-100AX
主要對象氣體活性氣體希有氣體活性氣體希有氣體活性氣體希有氣體
排氣速度*
(再生排氣速度)
0.03m3/s
(N測定時)
0.013m3/s
(Ar 測定時)
0.045m3/s
(N測定時)
0.016m3/s
(Ar 測定時)
0.10m3/s
(N2 測定時)
0.05m3/s
(Ar 測定時)
到達壓力10-9Pa
動作壓力推薦值<8.0×10-3Pa<5.0 x 10-3Pa
內(nèi)容積0.67 X 10-3m31.3x10-3m33.3x10-3m3
泵元件數(shù)量CU型單元×1 式AU sell×1式CU sell×1AU sell×1CX sell×1AX sell×1
連接法蘭規(guī)格UFC070UFC114UFC152
施加電壓DC+7.5kV
加熱器
無設定AC200V, 300WAC200V, 320W
烘烤溫度250℃
質(zhì)量9.5 kg12kg37kg
外形尺寸W x H x D103×183×187 mm153×204×241mm155×336×340mm
使用環(huán)境溫度范圍5~40℃
濕度范圍85%以下(無結(jié)露)
固定泵的螺栓孔尺寸4處-M5
深10mm
4處-M8
深6mm
推薦的控制器GST-07L-B

*1 GST-07L-B型控制器使用時


型號PST-110AUPST-200CXIIPST-200AXIIPST-400CXIIPST-400AXII
主要對象氣體活性氣體活性氣體希有氣體活性氣體希有氣體
排氣速度*
(再生排氣速度)
0.11m3/s
(N2 測定時)
0.2m3/s
(N2 測定時)
0.02m3/s
(Ar 測定時)
0.36m3/s
(N2 測定時)
0.19m3/s
(Ar 測定時)
到達壓力10-9Pa10-10Pa
動作壓力推薦值<4.5x10-3Pa<3.8x10-3Pa<3.0x10-3Pa
內(nèi)容積6.5x10-3m311x10-3m314x10-3m3
泵元件數(shù)量AU sellx1CX sell×2AX sell×2CX sell×4AX sell×4
連接法蘭規(guī)格UFC152UFC203
施加電壓DC+7.5kV
加熱器
無設定AC200V, 600WAC200V, 800W
烘烤溫度250℃
質(zhì)量36.5kg65kg124kg
外形尺寸W x H x D171×387×293mm296×361×376mm296×544×376mm
使用環(huán)境溫度范圍5~40℃
濕度范圍85%以下(無結(jié)露)
固定泵的螺栓孔尺寸4處-M6
深5mm
4處-M8
深15mm
6處-M8
深度15mm
推薦的控制器GST-07L-B

*1 GST-07L-B型控制器使用時

PST系列控制器

型號GST-07L-B
輸入規(guī)格輸入電壓、電流AC100~115V±10% ? 50/60Hz~3.0A
AC200~240V±10% ? 50/60Hz~1.5A
泄露電流
6mA以下
輸入電壓切換方式手動(通過電源內(nèi)部DIP開關(guān)操作)
輸出規(guī)格額定電壓
DC +7.5kV(約1.0~7.5kV大小可變)
額定電流
DC30mA以下
輸出極性
正極性
輸出特性
恒壓特性
顯示方式數(shù)字顯示(7段 LED顯示)
表示范圍輸出電流顯示范圍
1μA~30mA(mA, μA兩種單位自動切換)
輸出電壓顯示范圍
0.0~7.5 kV DC
壓力顯示Pa1×10-8~1×10-2
mbar1×10-10~1×10-4
壓力設定點2點
保護功能錯誤顯示/配備各種保護功能
顯示亮燈,高電壓 (HV) 輸出斷開 (Err. 0-8)
停電后的恢復在HV-ON開關(guān)處于ON狀態(tài)時,停電后可自動恢復。
外部控制功能各種輸入功能 (付REMOTE接頭), 搭載RS232C通訊控制
Monitor端子輸出信號根據(jù)面板7位顯示比例的輸出, 各段DC0~10V F.S
允許負載阻抗100kΩ以上
REMOTE/LOCAL通過前面板的開關(guān)進行切換
冷卻方式強制空冷方式
質(zhì)量
本體 : 4.0kg
外形尺寸W×H×D200 x 99 x 370 mm (架子安裝五金件除外)
使用環(huán)境溫度范圍0 ~ 40℃
濕度范圍85%以下(無結(jié)露)
符合規(guī)格CE, cTUVus


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