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進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)渦輪分子泵UTM?B系列

簡(jiǎn)要描述:進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)渦輪分子泵UTM?B系列
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):UTM70B
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-08-12
  • 訪  問(wèn)  量:98
詳情介紹

進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)渦輪分子泵UTM?B系列

進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)渦輪分子泵UTM?B系列

使用 安裝組件可無(wú)需支架直接搭載

標(biāo)配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測(cè)真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。

內(nèi)置油霧過(guò)濾器的大容量油箱

大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過(guò)濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。

 特點(diǎn)

安裝方向自由

安裝方向沒(méi)有限制,擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。

搭載控制器

控制器安裝在主體上,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。

高壓縮比?高排氣圧力

高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化。

三種法蘭可供選擇

VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

清潔真空

在運(yùn)行時(shí)以及泵停止時(shí),碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>

用途

分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)

蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)

H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)

規(guī)格

型號(hào)UTM70BUTM300B
泵體冷卻方式自然空冷強(qiáng)制空冷自然空冷強(qiáng)制空冷
法蘭口徑吸氣口*1VG65, ICF114, ISO063-KVG100, ICF152, ISO100-K
排氣口KF16KF16
排氣速度
(無(wú)防護(hù)網(wǎng)時(shí))
N270 L/s280 L/s
He60 L/s270 L/s
H249 L/s220 L/s
到達(dá)壓力 *2烘烤后- *310-8Pa- *310-8Pa
烘烤10-6Pa10-6Pa10-6Pa
最大壓縮比N2 : >1×109, He : 4×107, H2 : 4×105N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105
最大吸氣口壓力
*4, *5, *6
N20.43Pa1.1Pa0.06Pa0.7Pa
最大排氣口壓力
*4, *5, *7
N2300Pa900Pa100Pa1000Pa
連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)
最大流量
*8
無(wú)排放
氣體
N215sccm *940sccm *910sccm *10100sccm *10
無(wú)排放
氣體
Ar-10sccm *9-30sccm *10
有排放
氣體
-15sccm *9-40sccm *10
推薦輔助泵
(10SCCM吸引時(shí) ) *11
>60L/min>120L/min
質(zhì)量VG:3.3kg, ISF:3.0kg, ISO:5.0kg6.0kg / 9.0kg6.3kg / 9.3kg
回轉(zhuǎn)數(shù)87000rpm60000rpm
啟動(dòng)時(shí)間(Up to 80%)
(DC24V 背圧:5Pa以下時(shí))
1.7 min3.5 min
表面處理 *12無(wú)
安裝方向安裝可能
噪音 *13<48dB(A)<50dB(A)
控制器輸入電源DC24V ±5%, 120WDC24V ±5%, 180W
觸點(diǎn)輸入輸出REMOTE(D-sub 15針公頭)數(shù)字輸入/輸出4點(diǎn),模擬輸出1點(diǎn)
串行通信RS-485(D-sub 15針公頭,與REMOTE共用)
LED顯示POWER,NORMAL,ALARM
開關(guān)START/STOP,RESET
回轉(zhuǎn)數(shù)可變機(jī)能在泵規(guī)定回轉(zhuǎn)數(shù)25%~100%間、可以變更運(yùn)轉(zhuǎn)回轉(zhuǎn)數(shù)。(設(shè)定為0.1%單位)
異常檢測(cè)報(bào)警,檢測(cè)警告內(nèi)容
保護(hù)動(dòng)作報(bào)警,顯示警告內(nèi)容
標(biāo)準(zhǔn)附屬品使用說(shuō)明書(CD-R)、防護(hù)網(wǎng)(僅限VG、ICF。ISO法蘭的已組入墊片)、
墊片(吸氣口用)、防塵帽(吸氣口、排氣口、連接器用)各1個(gè)
合格標(biāo)準(zhǔn)CE, TUVus
*1訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)選擇吸氣口法蘭。
*2使用2段式輔助泵時(shí)
*3僅限于使用ICF法蘭強(qiáng)制空冷時(shí)才能烘烤。
*4周圍溫度為25°C時(shí)的值。允許值隨周圍溫度變化而變化。
*5不能同時(shí)滿足最大吸氣口壓力和最大排氣口壓力。
*6為可連續(xù)排氣的最大吸氣口壓力。
*7來(lái)自進(jìn)氣口的排氣流量為0sccm時(shí)的可連續(xù)運(yùn)行的排氣口的最大壓力。
*8周圍溫度為5~25°C時(shí)的值。排放氣體請(qǐng)使用N2以25sccm進(jìn)行。
*9以60L/min使用輔助泵時(shí)的值。
*10以120L/min使用輔助泵時(shí)的值。
*11氣體量較大時(shí),在選擇輔助泵時(shí)請(qǐng)保證排氣口的壓力要在最大排氣口壓力以下。
*12請(qǐng)勿流入反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體、含Ga氣體。其他相關(guān)問(wèn)題請(qǐng)聯(lián)系我們。
*13ISO法蘭型。依據(jù)本公司的測(cè)量方法。


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