簡要描述:原裝ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵UTM?MS 系列 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
原裝ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵UTM?MS 系列
原裝ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵UTM?MS 系列
特點
可直連羅茨泵(MBP)
使用MBP安裝組件可無需支架直接搭載MBP。
標配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
用途
光學膜蒸鍍設備
反射器蒸鍍設備
裝飾用蒸鍍設備
薄膜卷繞蒸鍍設備
內嵌濺射設備
烘烤爐 /熱處理爐
凍干設備
檢漏設備
渦輪分子泵,帶有使用磁懸浮軸承的獨立控制器。我們有抽速為300~4000 L/s 的型號陣容??刂破鲉卧梢员O(jiān)控運行狀態(tài)并支持各種通信標準。
泵體和控制器分開??刂破骺梢员O(jiān)控運行狀態(tài)并支持各種通信標準。
自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統(tǒng)裝置的設計更靈活。
排氣速度300L/s~4000L/s的型號陣容。
分子泵轉速在25-100%范圍內可變。通過改變轉速在腔室中實現(xiàn)壓力調節(jié)。
高耐用性和安全性。通過了大氣沖擊試驗、急停測試等各種安全性確認試驗。
各種設備的主真空排氣系統(tǒng)
- 半導體制造設備
- 蒸鍍設備
- 濺射設備
- 研究開發(fā)設備
- 分析設備、實驗裝置等
主真空泵系統(tǒng),用于不產生副反應生成物的輕工藝產線的真空系統(tǒng)。
其他的高真空排氣系統(tǒng)。
模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
進氣口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
出水口 | KF25 | KF40 | ||||||||
冷卻方式 | 水冷 | 空氣 冷卻 | 水冷 | 空氣 冷卻 | 水冷 | 空氣 冷卻 | 水冷 | 空氣 冷卻 | ||
極限壓力*1 | 出色地 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
抽氣速度*2 | 氮氣 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
和 | 升/秒 | ー | ||||||||
他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
氫氣 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
壓縮率 | 氮氣 | 1×10 9 | ||||||||
他 | 8× 104 | |||||||||
氫氣 | 1× 104 | 4×10 3 | ||||||||
最大入口壓力*3 | 出色地 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
最大出口壓力*3 | 出色地 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
轉速 | 轉速 | 45000 | 35000 | |||||||
啟動時間 | 5分鐘或更短 | |||||||||
安裝位置 | 朝任意方向 | |||||||||
表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
冷卻水 | 流速 | 升/分鐘 | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー |
壓力 | 兆帕G | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | |
噪音 | 分貝(聲級) | 60 | ||||||||
重量 | 公斤 | 14 | 33 | 三十二 | ||||||
推薦前級泵 | 200L/略多 | 500L/略多 | ||||||||
控制器 | 作品 | 分離型 | ||||||||
輸入電功率 | 單相AC200?240V±10%(50/60Hz±2Hz) | |||||||||
最大功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
速度變化 | 轉速在額定轉速的25%~100%之間可調(設定為0.1%) | |||||||||
溝通 | 接觸 | |||||||||
串口:RS-232C / RS-485 | ||||||||||
重量 | 公斤 | 8 |
模型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
進氣口 | VG200 / ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
出水口 | KF40 | ||||||
冷卻方式 | 水冷 | ||||||
極限壓力*1 | 出色地 | 10 -7 | |||||
抽氣速度*2 | 氮氣 | 升/秒 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
和 | 升/秒 | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
他 | 升/秒 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
氫氣 | 升/秒 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
壓縮率 | 氮氣 | 6×10 8 | 1×10 9 | ||||
他 | 1× 104 | 7×10 4 | 1×10 5 | 3× 104 | |||
氫氣 | 1× 103 | 3×10 3 | 6×10 3 | 2× 103 | |||
最大入口壓力*3 | 出色地 | 133 | 40 | ||||
最大出口壓力*3 | 出色地 | 270 | 270 | ||||
轉速 | 轉速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
啟動時間 | 7分鐘或更短 | 11分鐘或更短 | 12分鐘或更短 | 18分鐘或更短 | |||
安裝位置 | 朝任意方向 | ||||||
表面處理 | 鍍鎳 | ||||||
冷卻水 | 流速 | 升/分鐘 | 1~3 | 2~4 | |||
壓力 | 兆帕G | 02~0.5 | |||||
噪音 | 分貝(聲級) | 60 | 57 | 60 | |||
重量 | 公斤 | 三十九 | 四十二 | 70 | 84 | 105 | |
推薦前級泵 | 600L/略多 | 1300L/略多 | 1500L/略多 | ||||
控制器 | 作品 | 分離型 | |||||
輸入電功率 | 單相AC200?240V±10%(50/60Hz±2Hz) | ||||||
最大功率 | 1.0 | 1.5 | |||||
速度變化 | 轉速在額定轉速的25%~100%之間可調(設定為0.1%) | ||||||
溝通 | 接觸 | ||||||
串口:RS-232C / RS-485 | |||||||
重量 | 公斤 | 8 |
*1:表示位數(shù)。
*2:無防護網。
*3:最大入口壓力和最大出口壓力不能同時滿足。
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