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原裝ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵UTM?MS 系列

簡要描述:原裝ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵UTM?MS 系列
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

  • 產品型號:UTM300A-MS
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-08-12
  • 訪  問  量:120
詳情介紹

原裝ULVAC愛發(fā)科  渦輪分子泵UTM?MS 系列  

原裝ULVAC愛發(fā)科  渦輪分子泵UTM?MS 系列  

特點

可直連羅茨泵(MBP)

使用MBP安裝組件可無需支架直接搭載MBP。

標配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。

內置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。

用途

光學膜蒸鍍設備

反射器蒸鍍設備

裝飾用蒸鍍設備

薄膜卷繞蒸鍍設備

內嵌濺射設備

烘烤爐 /熱處理爐

凍干設備

檢漏設備

渦輪分子泵,帶有使用磁懸浮軸承的獨立控制器。我們有抽速為300~4000 L/s 的型號陣容??刂破鲉卧梢员O(jiān)控運行狀態(tài)并支持各種通信標準。


特點

  • 泵體和控制器分開??刂破骺梢员O(jiān)控運行狀態(tài)并支持各種通信標準。

  • 自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統(tǒng)裝置的設計更靈活。

  • 排氣速度300L/s~4000L/s的型號陣容。

  • 分子泵轉速在25-100%范圍內可變。通過改變轉速在腔室中實現(xiàn)壓力調節(jié)。

  • 高耐用性和安全性。通過了大氣沖擊試驗、急停測試等各種安全性確認試驗。

用途

  • 各種設備的主真空排氣系統(tǒng)

    - 半導體制造設備
    - 蒸鍍設備
    - 濺射設備
    - 研究開發(fā)設備
    - 分析設備、實驗裝置等

    • 主真空泵系統(tǒng),用于不產生副反應生成物的輕工藝產線的真空系統(tǒng)。

    • 其他的高真空排氣系統(tǒng)。

    規(guī)格

    表 1
    模型UTM300A-MSUTM400A-MSUTM800A-MSUTM1000A-MS
    進氣口VG100 / ICF152VG150 / ICF203VG200 / ICF253
    出水口KF25KF40
    冷卻方式水冷
    空氣
    冷卻
    水冷
    空氣
    冷卻
    水冷
    空氣
    冷卻
    水冷
    空氣
    冷卻
    極限壓力*1出色地10 -710 -8
    抽氣速度*2氮氣升/秒3204208001080
    升/秒
    升/秒340360800930
    氫氣升/秒320340700790
    壓縮率氮氣1×10 9
    8× 104
    氫氣1× 1044×10 3
    最大入口壓力*3出色地2001.32001.34001.34001.3
    最大出口壓力*3出色地40040400406654066540
    轉速轉速4500035000
    啟動時間5分鐘或更短
    安裝位置朝任意方向
    表面處理鍍鎳
    冷卻水流速升/分鐘1~31~31~31~3
    壓力兆帕G02~0.502~0.502~0.502~0.5
    噪音分貝(聲級)60
    重量公斤1433三十二
    推薦前級泵200L/略多500L/略多
    控制器作品分離型
    輸入電功率單相AC200?240V±10%(50/60Hz±2Hz)
    最大功率0.551.0
    速度變化 轉速在額定轉速的25%~100%之間可調(設定為0.1%)
    溝通接觸
    串口:RS-232C / RS-485
    重量公斤8
    *1:表示位數(shù)。
    *2:無防護網。
    *3:最大入口壓力和最大出口壓力不能同時滿足。




    表 2
    模型UTM1300A-MSUTM1500A-MSUTM2400A-MSUTM3400A-MSUTM4300A-MS
    進氣口VG200 / ICF253VG250VG300 / VG350VG350
    出水口KF40
    冷卻方式水冷
    極限壓力*1出色地10 -7
    抽氣速度*2氮氣升/秒13001500210032004400
    升/秒200031004200
    升/秒1050120022403100
    氫氣升/秒750800177022002600
    壓縮率氮氣6×10 81×10 9
    1× 1047×10 41×10 53× 104
    氫氣1× 1033×10 36×10 32× 103
    最大入口壓力*3出色地13340
    最大出口壓力*3出色地270270
    轉速轉速30300270002760024000
    啟動時間7分鐘或更短11分鐘或更短12分鐘或更短18分鐘或更短
    安裝位置朝任意方向
    表面處理鍍鎳
    冷卻水流速升/分鐘1~32~4
    壓力兆帕G02~0.5
    噪音分貝(聲級)605760
    重量公斤三十九四十二7084105
    推薦前級泵600L/略多1300L/略多1500L/略多
    控制器作品分離型
    輸入電功率單相AC200?240V±10%(50/60Hz±2Hz)
    最大功率1.01.5
    速度變化 轉速在額定轉速的25%~100%之間可調(設定為0.1%)
    溝通接觸
    串口:RS-232C / RS-485
    重量公斤8

    *1:表示位數(shù)。
    *2:無防護網。
    *3:最大入口壓力和最大出口壓力不能同時滿足。


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