簡(jiǎn)要描述:進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科 低速運(yùn)轉(zhuǎn)的羅茨泵 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科 低速運(yùn)轉(zhuǎn)的羅茨泵
進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科 低速運(yùn)轉(zhuǎn)的羅茨泵
特點(diǎn)
可直連羅茨泵(MBP)
使用MBP安裝組件可無(wú)需支架直接搭載MBP。
標(biāo)配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測(cè)真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。
內(nèi)置油霧過(guò)濾器的大容量油箱
大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過(guò)濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。
用途
光學(xué)膜蒸鍍?cè)O(shè)備
反射器蒸鍍?cè)O(shè)備
裝飾用蒸鍍?cè)O(shè)備
薄膜卷繞蒸鍍?cè)O(shè)備
內(nèi)嵌濺射設(shè)備
烘烤爐 /熱處理爐
凍干設(shè)備
檢漏設(shè)備
型號(hào) | PMB-040C | PMB-060C | ||
抽氣速率 | 50Hz | 3,800 m3/h (63,300 L/min) | 6,200 m3/h (103,300 L/min) | |
60Hz | ||||
最大吸氣壓力 | 50Hz | 8.0 x 102 Pa | ||
60Hz | ||||
最大允許壓差 | 50Hz | 5.9 x 103 Pa | 5.1x103 Pa | |
60Hz | ||||
到達(dá)壓力 *1 | 6.7 x 10-1 Pa | |||
容許驅(qū)動(dòng)壓力 | 8.0 x 10-2 Pa | |||
電機(jī) | 電機(jī)類型 | 全封閉外扇形三相感應(yīng)電動(dòng)機(jī) | ||
高效率等級(jí) | IE3 | |||
出力 | 15 kW (4 極數(shù)) | 18.5 kW (4 極數(shù)) | ||
電壓 (200V系) | 50Hz | 200 V | ||
60Hz | 200 / 220 V | |||
液壓油 | ULVOIL R-72 | |||
油量 | 8 L | |||
冷卻方式 | 水冷 | |||
冷卻水 | 一次側(cè)壓力 | 0.3 Mpa | ||
吸氣/排氣口壓差量 | 0.05 Mpa | |||
冷卻水量 | 10 L/min | |||
水溫 *2 | 5 ~ 30 ℃ | |||
吸氣口 | VG250 相當(dāng) | VG300 相當(dāng) | ||
排氣口 *3 | VF150 相當(dāng) | VF200 相當(dāng) | ||
外直徑(尺寸) *4 | 772 x 1182 x 680mm | 772 x 1452 x 680mm | ||
T1 / T2 | 50Hz | 1570 / 900 mm | 1608 / 900 mm | |
60Hz | 1570 / 940 mm | 1608 / 940 mm | ||
重量 | 970 kg | 1100 kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)低真空泵 | PKS-070B | PKS-070B x 2 | ||
符合規(guī)格 | - | |||
標(biāo)準(zhǔn)附屬品 | 沒(méi)有電機(jī) | 沒(méi)有電機(jī) | ||
選配件 | 與上述不同的可用電機(jī)電壓。 |
Note) 此目錄使用 SI單位系統(tǒng)。 使用非 SI單位制的轉(zhuǎn)換如下。
6.7 x 10-1 Pa = 5 × 10-3 Torr
*1 用皮拉尼真空計(jì)測(cè)定。 (測(cè)量條件 : 標(biāo)準(zhǔn)后備泵和標(biāo)準(zhǔn)真空油。)
*2 在無(wú)結(jié)露的環(huán)境中使用。
*3 排氣口(排氣口)方向可以選擇。
*4 有關(guān)其他尺寸,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)ULVAC網(wǎng)站并參考發(fā)布的CAD數(shù)據(jù)。
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