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新品ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵消音器RS系列

簡要描述:新品ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵消音器RS系列
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

  • 產品型號:RS-01 套件A
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-08-10
  • 訪  問  量:101
詳情介紹

新品ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵消音器RS系列

新品ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵消音器RS系列

特點

通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理,進行腐蝕。

采用ULVAC 設計的底座軸,實現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

目的

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

 當使用干泵時可選配,用于降低排氣噪音。

特點

■大氣壓附近的排氣速度高,可以縮短排氣時間。

■ECO-SHOCK技術實現(xiàn)低功耗(C型號)

 極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低(LS120A-C)

■配有專用的消音器

 極限壓力下的噪音水平為61 dB(A)或更低

■無需先前所需要的軸封氣體

 ※L型可以使用稀釋氣體。

■排氣速度120-1200 m3 / h級 ※可與機械增壓泵結合使用

 可以根據應用選擇最佳排氣能力的型號


得點

出色的消音效果

可以通過卡箍連接到泵的排氣口


規(guī)格

消音器 套件名稱適用泵附屬品
卡箍O型座連接配管支架
RS-01 套件ACR60B,LR60,90,300,GR60A,90A11
RS-01 套件BLR600,12002211
RS-01 套件CCR300B,GR180A2211
RS-01 套件DCR16B,30B111
RS-02 套件ALR180(LR60,90,300)2211
RS-02 套件BLR1800(LR600,1200)2211
RS-03 套件ALR421(-T)1111
RS-03 套件BLR3601(-T/TT/R/TR/TTR)3311
EFS-11-NW25/2/2516(*1)CR16B,30B11
EFS-19-NW40/1(*1)(*2)CR60B,300B11

*1 有害氣體的情況下不能使用。
*2 不能連接后方配管的開放型。



消音效果(參考值)

Unit: dB(A)

型號電源頻率消音器消音效果
RS-0150Hz817011
60Hz886919
RS-0250Hz847212
60Hz937320
RS-0350/60Hz71674

*1 運轉條件是在極限壓力狀態(tài)下導入稀釋氣體5SLM。



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