簡(jiǎn)要描述:直售ULVAC愛發(fā)科 CR30B 多級(jí)羅茨型干泵設(shè)備螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
直售ULVAC愛發(fā)科 CR30B 多級(jí)羅茨型干泵設(shè)備
直售ULVAC愛發(fā)科 CR30B 多級(jí)羅茨型干泵設(shè)備
特點(diǎn)
通過對(duì)轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,進(jìn)行腐蝕。
采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸,實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。
目的
半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
型號(hào) | CR16B | CR30B | CR60B-S | CR60B-T | CR300B | |
最大排氣速度 | m3/h | 16 | 30 | 55 | 300 | |
L/min | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
到達(dá)壓力 *1 | Pa | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
最大排氣壓力(吸入圧力) | 大氣壓 | |||||
最大排氣口壓力(排出圧力) | 大氣壓 | |||||
電源 *2 | 單相 : 100V, 200V 三相 : 200V | 單相:200V | 三相 : 200V | 三相 : 200V | ||
電機(jī)額定功率 | kW | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
吸氣口 | KF25 | KF40 | KF50 | |||
排氣口 | KF25 | KF40 | ||||
質(zhì)量 | kg | 35 | 48 | 100 | ||
符合規(guī)格 | CE、cTUVus | |||||
冷卻方式 | 空冷 | |||||
氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu) *3 | 選配件 | |||||
最大水蒸氣處理量 e *4 | g/h | <300 | <500 | |||
標(biāo)準(zhǔn)附件 | 電源用連接器、信號(hào)用連接器、使用說明書、空氣過濾器、護(hù)套 |
※1 極限壓力是氣鎮(zhèn)閥內(nèi)沒有氣體時(shí)的值。
※2 請(qǐng)從上表中選擇使用電源的相位和電壓,訂購(gòu)時(shí)注明。
※3 氣鎮(zhèn)用閥門為選裝件。
※4 使用氣鎮(zhèn)時(shí)候的最大水蒸氣處理量。水蒸氣排氣時(shí)請(qǐng)務(wù)必使用 氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)。
型號(hào) | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |
氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu) | 針閥 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
電磁閥 + 針閥 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |
橡膠腳墊 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
型號(hào) | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |
消音器 | RS-01+套件 D | 〇 | 〇 | - | - |
RS-01+套件 A | - | - | 〇 | - | |
RS-01+套件 C | - | - | - | 〇 | |
簡(jiǎn)易型消音器 *1 | EFS-11-NW25/2/2516 | 〇 | 〇 | - | - |
EFS-19-NW40/1 *2 | - | - | 〇 | 〇 | |
電源互換BOX | Ver.A→Ver.B | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
*1 由于是濾芯型消音器,因此需要更換維護(hù)。
*2 不能連接到管路上。(開放型)
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