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原廠HORIBA堀場 超薄質(zhì)量流量模塊

簡要描述:原廠HORIBA堀場 超薄質(zhì)量流量模塊
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
±1.0% SP(設(shè)定點)
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,
面間距106mm(50SLM以下,1/4VCR型),兼容1.125英寸燃氣面板。

  • 產(chǎn)品型號:DZ-114S
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-07
  • 訪  問  量:90
詳情介紹

原廠HORIBA堀場 超薄質(zhì)量流量模塊

原廠HORIBA堀場 超薄質(zhì)量流量模塊

可對調(diào)諧氣體等低流量氣體進行精密控制。

100毫秒或更短的高速響應(yīng),減少了MFC之間的機器差異,

提高了生產(chǎn)率并提高了工藝性能。

流量測量的內(nèi)部生產(chǎn)

所有制造的產(chǎn)品都表現(xiàn)出高可靠性。

狀態(tài)監(jiān)控功能

提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)并實現(xiàn)更智能的故障預(yù)測。

PFA 閥門具有出色的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能

減少停機時間并優(yōu)化產(chǎn)量。

數(shù)字質(zhì)量流量控制器型號,配備多范圍/多氣體功能,允許用戶更改氣體類型和流量范圍。

實現(xiàn)±1.0%SP的高精度、全量程1秒內(nèi)高速響應(yīng)、5SCCM~500SLM的寬量程。通訊方式可以從數(shù)字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通訊中選擇。該質(zhì)量流量控制器不僅適用于先進工藝,而且適用于各種制造工藝。

多量程/多氣體兼容。

氣體類型和滿量程流量可在用戶側(cè)更改。通過減少備件數(shù)量,有助于降低成本。

從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制

保證高精度

±1.0% SP(設(shè)定點)

1秒內(nèi)高速響應(yīng)

全量程(T98)

尺寸緊湊,

可選擇的通信方式

陣容:數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通訊方式    驅(qū)動電源    產(chǎn)品型號

數(shù)字通訊

可滾動的

寬廣的流量控制范圍,從 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行

高精度:±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數(shù)字校正功能,實現(xiàn)設(shè)定點精度

全流量范圍快速響應(yīng):1秒內(nèi)完成全量程

配備多氣體/多量程功能,

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。

在整個流量范圍內(nèi)(上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值)響應(yīng)時間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)

兼容環(huán)境溫度范圍廣(15-60℃)

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過程優(yōu)化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應(yīng)

實現(xiàn)了高生產(chǎn)率并提高了工藝性能。

減少批量生產(chǎn)穩(wěn)健的 CIP 壓力傳感器的停機時間和工時,實現(xiàn)  

PFA 噴嘴的閥門關(guān)閉性能和耐磨性提高了 10 倍以上

,從而減少了停機時間并優(yōu)化了產(chǎn)量。

狀態(tài)監(jiān)控功能

提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)并實現(xiàn)更智能的故障預(yù)測。





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