簡要描述:原廠HORIBA堀場 寬范圍質(zhì)量流量模塊從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制保證高精度±1.0% SP(設(shè)定點(diǎn))1秒內(nèi)高速響應(yīng)全量程(T98) 尺寸緊湊,面間距106mm(50SLM以下,1/4VCR型),兼容1.125英寸燃?xì)饷姘濉?/p>
原廠HORIBA堀場 寬范圍質(zhì)量流量模塊
原廠HORIBA堀場 寬范圍質(zhì)量流量模塊
可對(duì)調(diào)諧氣體等低流量氣體進(jìn)行精密控制。
100毫秒或更短的高速響應(yīng),減少了MFC之間的機(jī)器差異,
提高了生產(chǎn)率并提高了工藝性能。
流量測量的內(nèi)部生產(chǎn)
所有制造的產(chǎn)品都表現(xiàn)出高可靠性。
狀態(tài)監(jiān)控功能
提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)并實(shí)現(xiàn)更智能的故障預(yù)測。
PFA 閥門具有出色的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能
減少停機(jī)時(shí)間并優(yōu)化產(chǎn)量。
數(shù)字質(zhì)量流量控制器型號(hào),配備多范圍/多氣體功能,允許用戶更改氣體類型和流量范圍。
實(shí)現(xiàn)±1.0%SP的高精度、全量程1秒內(nèi)高速響應(yīng)、5SCCM~500SLM的寬量程。通訊方式可以從數(shù)字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通訊中選擇。該質(zhì)量流量控制器不僅適用于先進(jìn)工藝,而且適用于各種制造工藝。
多量程/多氣體兼容。
氣體類型和滿量程流量可在用戶側(cè)更改。通過減少備件數(shù)量,有助于降低成本。
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
±1.0% SP(設(shè)定點(diǎn))
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,
可選擇的通信方式
陣容:數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®
通訊方式 驅(qū)動(dòng)電源 產(chǎn)品型號(hào)
數(shù)字通訊
可滾動(dòng)的
寬廣的流量控制范圍,從 10 SCCM 到 1000 SLM
流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行
高精度:±1.0% 提高 SP 流量精度
配備數(shù)字校正功能,實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度
全流量范圍快速響應(yīng):1秒內(nèi)完成全量程
配備多氣體/多量程功能,
允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。
在整個(gè)流量范圍內(nèi)(上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值)響應(yīng)時(shí)間為 100 毫秒或更短
自診斷多重診斷功能
改進(jìn)的壓力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)
兼容環(huán)境溫度范圍廣(15-60℃)
0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度
提供了過程優(yōu)化和靈活性。
小于500毫秒的高速響應(yīng)
實(shí)現(xiàn)了高生產(chǎn)率并提高了工藝性能。
減少批量生產(chǎn)穩(wěn)健的 CIP 壓力傳感器的停機(jī)時(shí)間和工時(shí),實(shí)現(xiàn)
PFA 噴嘴的閥門關(guān)閉性能和耐磨性提高了 10 倍以上
,從而減少了停機(jī)時(shí)間并優(yōu)化了產(chǎn)量。
狀態(tài)監(jiān)控功能
提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)并實(shí)現(xiàn)更智能的故障預(yù)測。
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