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INTECS英特斯 晶圓截面形狀測(cè)定裝置燈 WEMS
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對(duì)于使用舊 VSSW 的客戶(hù)來(lái)說(shuō)是個(gè)好消息! !
使用攝像管型半導(dǎo)體晶片截面形狀測(cè)量裝置(VSSW)的客戶(hù)的福音! !
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概述
該設(shè)備可無(wú)損測(cè)量半導(dǎo)體晶片的橫截面尺寸,并且可以測(cè)量邊緣尺寸、角度和半徑。 可測(cè)量的晶圓尺寸約為2至12英寸,晶圓更換工作很容易
視頻縮放器規(guī)格 視頻縮放器使用說(shuō)明書(shū)
設(shè)備規(guī)格
測(cè)量范圍
厚度約2000μm(*1) 深度約1500μm
展示19英寸液晶顯示屏有效顯示像素?cái)?shù)768×494數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)SD內(nèi)存操作方法操縱桿、開(kāi)關(guān)測(cè)量功能尺寸、角度、半徑判斷方法專(zhuān)用參考圖案印刷方式打印機(jī)(*可選)使用環(huán)境
環(huán)境溫度:10℃~30℃,
濕度:80%以下,無(wú)凝露環(huán)境
。無(wú)強(qiáng)磁、強(qiáng)振動(dòng)、無(wú)灰塵的環(huán)境。
電源AC100V±10% 50/60Hz 150W(不含打印機(jī))
*1 如果尺寸接近尺寸,測(cè)量對(duì)象和測(cè)量結(jié)果會(huì)出現(xiàn)重疊的區(qū)域。
各種功能
尺寸測(cè)量通過(guò)兩個(gè)測(cè)量點(diǎn),可以測(cè)量?jī)牲c(diǎn)之間的垂直和水平尺寸(倒角深度、倒角)。角度測(cè)量可以通過(guò)兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)來(lái)測(cè)量倒角角度。半徑測(cè)量通過(guò)三個(gè)測(cè)量點(diǎn),可以測(cè)量連接這三個(gè)點(diǎn)的圓的半徑。批量測(cè)量通過(guò)四個(gè)測(cè)量點(diǎn),可以測(cè)量左倒角深度、右倒角深度、左倒角、右倒角總厚度、剩余倒角厚度、左倒角角度和右倒角角度。
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