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KONAN甲南 精密調(diào)壓閥 RVC2-08-20A

簡要描述:KONAN甲南 精密調(diào)壓閥 RVC2-08-20A
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,

  • 產(chǎn)品型號:池田屋
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-13
  • 訪  問  量:133
詳情介紹

KONAN甲南 精密調(diào)壓閥 RVC2-08-20A

KONAN甲南 精密調(diào)壓閥 RVC2-08-20A

 使用反應(yīng)濺射將觸摸面板和玻璃基板的薄膜沉積在基材上。反應(yīng)性濺射法是在真空中使濺射粒子與氧或氮發(fā)生化學(xué)反應(yīng)來成膜的方法,但定量供給反應(yīng)氣體的方法會導(dǎo)致成膜速度變慢,難以實(shí)用化。 。然而,已知反應(yīng)模式和金屬模式之間存在不穩(wěn)定的過渡模式,沉積速率較快,且沉積速率變化較大,可以通過基于反應(yīng)氣體的控制來維持過渡區(qū)域。等離子體發(fā)射強(qiáng)度。

等離子發(fā)射控制器RU-1000使用傳感器檢測等離子發(fā)射強(qiáng)度,并使用 的算法向內(nèi)部制造的高速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器指示適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)氣體流量,從而使成膜速度接近于金屬模式并實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的成膜。

業(yè)務(wù)部門:半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別:干燥過程控制

制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.

特征

應(yīng)用

下載

等離子發(fā)射控制器RU-1000用于提高沉積速度。通過控制過渡區(qū)的反應(yīng)氣體,與定量供給反應(yīng)氣體的方法相比,成膜速度可以提高數(shù)倍。

通過將多個(gè)等離子體發(fā)射強(qiáng)度傳感器安裝到寬幅基板上并利用這些信號高速控制反應(yīng)氣體,可以實(shí)現(xiàn)極其均勻的成膜。

等離子發(fā)射控制器RU-1000是一款售后服務(wù)優(yōu)良的國產(chǎn)產(chǎn)品,由專門從事光學(xué)技術(shù)的Horiba和擁有優(yōu)秀氣體控制技術(shù)的Horiba Estec制造。

制造商特點(diǎn)

在生產(chǎn)等離子體發(fā)射控制器時(shí),HORIBA, Ltd.負(fù)責(zé)測量等離子體發(fā)射強(qiáng)度的基本光學(xué)設(shè)計(jì),HORIBA STEC, Ltd.負(fù)責(zé)控制反應(yīng)氣體流量的功能部分的設(shè)計(jì)。高速。堀場制作所是汽車尾氣分析儀、薄膜測量、理化分析領(lǐng)域的頂尖公司,而這些分析技術(shù)的基本原理是光學(xué)測量技術(shù),因此等離子體發(fā)光測量是由日本堀場制作所進(jìn)行的。該領(lǐng)域的頂尖公司。另一方面,反應(yīng)氣體流量的控制部分由全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中 的質(zhì)量流量控制器(氣體流量控制裝置)的制造商負(fù)責(zé)。等離子發(fā)射控制器 RU-1000 匯集了堀場集團(tuán)的最佳技術(shù),并將繼續(xù)挑戰(zhàn)技術(shù)的發(fā)展,達(dá)到更高的高度。

對于要求演示的客戶

在本公司,我們出租控制器和等離子測量裝置等系統(tǒng),以便與客戶的系統(tǒng)相匹配,讓客戶放心使用。

對于給您帶來的不便,我們深表歉意,但請單擊下面的圖標(biāo)并輸入所需的信息。

我們的代表將確認(rèn)您所需的日期和所需的系統(tǒng)。

池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年,位于廣東省深圳市,是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。公司經(jīng)過多年的發(fā)展,已整

合多方海外廠商渠道,有穩(wěn)定的合作關(guān)系,為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。池田屋主要經(jīng)營日本

科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。

公司擁有專業(yè)的銷售團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)、資深的管理團(tuán)隊(duì),通過全體員工的不懈努力,憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟

技術(shù),服務(wù)于電子消費(fèi)類、半導(dǎo)體,液晶光電,汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強(qiáng)企業(yè)。

“捕捉變化,開拓未來"

~通過科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會做貢獻(xiàn)~

我們以“教育科學(xué)設(shè)備領(lǐng)域"和“研究科學(xué)設(shè)備領(lǐng)域"為支柱,在本公司,全體員工以“了解變化,開拓未來"的挑戰(zhàn)精神和

“用人、育人"的企業(yè)文化為基礎(chǔ),以池田屋有的方式響應(yīng)客戶的需求。


日本甲南KONAN調(diào)壓閥RVC2-08-20A

產(chǎn)品名稱:日本甲南(KONAN)減壓閥

關(guān)鍵字:日本減壓閥、甲南KONAN減壓閥、電磁閥、鎖止閥、調(diào)壓閥





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