簡要描述:ULVAC愛發(fā)科 通用型炎熱電離真空計轉(zhuǎn)氨酶 AxTRAN 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
ULVAC愛發(fā)科 通用型炎熱電離真空計轉(zhuǎn)氨酶 AxTRAN
ULVAC愛發(fā)科 通用型炎熱電離真空計轉(zhuǎn)氨酶 AxTRAN
操作性的提高:通過與PC/智能手機的連接,可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。
燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。
小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮小(控制器體積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計(正在申請):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當連接了可選的單元SAU時)。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認
用于在含有多種碳氫化合物(油類)的環(huán)境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備
AxTRAN是在離子源和離子收集器之間配置了Bessel-Box型能量過濾器的熱陰極電離真空計。
由于降低了軟X射線,ESD離子等的剩余電流,實現(xiàn)了0.5×10 -10 Pa的測定分辨率。
可以測量10 -11 Pa
可以減少諸如軟X射線和ESD離子之類的剩余電流
測量區(qū)域廣1×10 -2~0.5×10 -10 Pa
標準壓力0~10V模擬日志輸出/每個數(shù)字內(nèi)1V線性輸出
可以輸出2個設(shè)定點
BCD/RS232C(可選)
用于真空設(shè)備,如高能加速器壓力測量
用于超高、超高真空設(shè)備的壓力測量
模型 | ISX2 |
可測壓力范圍 | 5×10 -11至 1×10 -2 Pa (3.75×10 -13至 7.5×10 -5 Torr, 5×10 -13至 1×10 -4 mbar) |
測量分辨率 | 0.5×10 -10 Pa(0.375×10 -12托,0.5×10 -12毫巴) |
展示 | 數(shù)字顯示,3位尾數(shù),2位指數(shù) |
脫氣 | 電子激發(fā)解吸式 |
測量值輸出 | 線性輸出 0 至 10 VDC |
偽對數(shù)輸出 0 至 10V(每位 1V 線性信號) | |
設(shè)定點 | 2 分 |
工作溫度范圍 | 10 至 40?C(50 至 104?F) |
工作濕度范圍 | 15~80%(無結(jié)露) |
電源電壓 | AC85至240V |
外形尺寸 寬×深×高 | 240毫米×350毫米×99毫米 |
重量 | 5.3公斤 |
標準配件 | AC100V(3P帶地線插頭)電源線,說明書 |
選項 | 傳感器:X-11 |
傳感器電纜:5、10、20m | |
BCD輸出,RS232C/485 |
兼容傳感器頭 | X-11 |
能量過濾器 | 貝塞爾盒型 |
燈絲 | Ir?Y2O3 × 2 |
安裝法蘭 | UFC-070 |
最高烘烤溫度 | 300℃ (572?F) 無傳感器電纜 |
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