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全新ULVAC愛(ài)發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)真空泵高真空CRYO-U 系列

簡(jiǎn)要描述:全新ULVAC愛(ài)發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)真空泵高真空CRYO-U 系列
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):CRYO-U4H
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-08-12
  • 訪  問(wèn)  量:76
詳情介紹

全新ULVAC愛(ài)發(fā)科  標(biāo)準(zhǔn)真空泵高真空CRYO-U 系列

全新ULVAC愛(ài)發(fā)科  標(biāo)準(zhǔn)真空泵高真空CRYO-U 系列

使用 安裝組件可無(wú)需支架直接搭載

標(biāo)配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測(cè)真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。

內(nèi)置油霧過(guò)濾器的大容量油箱

大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過(guò)濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。

特點(diǎn)

安裝方向自由

安裝方向沒(méi)有限制,擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。

搭載控制器

控制器安裝在主體上,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。

高壓縮比?高排氣圧力

高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化。

三種法蘭可供選擇

VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

清潔真空

在運(yùn)行時(shí)以及泵停止時(shí),碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>

用途

分析設(shè)備、研究開(kāi)發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)

蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)

H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開(kāi)發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同,從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點(diǎn)

  • 最大發(fā)揮了4-inch低溫泵的排氣特性。

  • 高排氣速度有助于提高排氣效率和生產(chǎn)率。

  • 特別適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備和小型設(shè)備的濺射工藝。

  • 1臺(tái)壓縮機(jī)最多可以運(yùn)行四臺(tái)泵。

  • 可以根據(jù)您的應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)和制造。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

排氣速度(20℃)L/s450
500
370
1,100
極限壓力Pa10-7
最大流量Pa?L/s1.3×103
排氣容量Pa?L1.0×107
1.5×105
冷卻下降時(shí)間min(50/60Hz)45/50
重量Kg14.5


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