簡(jiǎn)要描述:全新ULVAC愛(ài)發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)真空泵高真空CRYO-U 系列 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
全新ULVAC愛(ài)發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)真空泵高真空CRYO-U 系列
全新ULVAC愛(ài)發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)真空泵高真空CRYO-U 系列
使用 安裝組件可無(wú)需支架直接搭載
標(biāo)配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測(cè)真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。
內(nèi)置油霧過(guò)濾器的大容量油箱
大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過(guò)濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。
特點(diǎn)
安裝方向自由
安裝方向沒(méi)有限制,擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運(yùn)行時(shí)以及泵停止時(shí),碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>
用途
分析設(shè)備、研究開(kāi)發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
最大發(fā)揮了4-inch低溫泵的排氣特性。
高排氣速度有助于提高排氣效率和生產(chǎn)率。
特別適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備和小型設(shè)備的濺射工藝。
1臺(tái)壓縮機(jī)最多可以運(yùn)行四臺(tái)泵。
可以根據(jù)您的應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)和制造。
排氣速度(20℃) | 氮 | L/s | 450 |
氫 | 500 | ||
氬 | 370 | ||
水 | 1,100 | ||
極限壓力 | Pa | 10-7 | |
最大流量 | 氬 | Pa?L/s | 1.3×103 |
排氣容量 | 氬 | Pa?L | 1.0×107 |
氫 | 1.5×105 | ||
冷卻下降時(shí)間 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
重量 | Kg | 14.5 |
電話
微信掃一掃