簡要描述:進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 PMB100D 通用羅茨泵 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 PMB100D 通用羅茨泵
進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 PMB100D 通用羅茨泵
特點
可直連羅茨泵(MBP)
使用MBP安裝組件可無需支架直接搭載MBP。
標(biāo)配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。
內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。
用途
光學(xué)膜蒸鍍設(shè)備
反射器蒸鍍設(shè)備
裝飾用蒸鍍設(shè)備
薄膜卷繞蒸鍍設(shè)備
內(nèi)嵌濺射設(shè)備
烘烤爐 /熱處理爐
凍干設(shè)備
檢漏設(shè)備
型號*1 | PMB100D | PMB300D | PMB600D | PMB1200D | PMB2400D | ||||
最大排氣速度 | 50 Hz | m3/h (L/min) | 95 (1,580) | 280 (4,670) | 500 (8,330) | 1,000 (16,667) | 2,000 (33330) | 2,500 (41,667) | |
60 Hz | 115 (1,920) | 330 (5,500) | 600 (10,000) | 1200 (20,000) | 2,400 (40,000) | 3,100 (51,667) | |||
最大吸氣壓力 | 50 Hz | Pa | 9.3×103 | 1.2×103 | 1.3×103 | 2.0×103/8.0×102 | |||
60 Hz | 6.2×103 | 9.3×102 | 1.1×103 | 1.5×103/6.7×102 | |||||
最大允許壓差 | 50 Hz | Pa | 8.0×103 | 4.0×103 | 7.3×103 | 3.5×103/4.7×103 | |||
60 Hz | 5.6×103 | 3.3×103 | 6.0×103 | 3.0×103/4.7×103 | |||||
到達(dá)壓力 *2 | Pa | 4.0×10-1 | 6.7×10-1 | ||||||
容許驅(qū)動壓力 | Pa | ~1.0×105 ( 大氣壓開始型 ) | |||||||
電機(jī) *3 | 出力 | kW (poles) | 0.4(2) | 0.75(2) | 2.2(2) | 3.7(2) | 7.5(2) | ||
200V 級 | 50 Hz | V | 200 | ー | |||||
60 Hz | 200/220 | ー | |||||||
多電壓 電機(jī) | 50 Hz | V | 220~240 / 380~415 | 200~240/380~415 | |||||
60 Hz | 208~240 / 380~460 | 200~240/380~460 | |||||||
液壓油 *4 | ULVOIL R-42 | ||||||||
油量 | L | 0.35 | 0.7 | 1.5 | 1.9 | 4 | |||
冷卻方式 *5 | 空冷 | 空冷 / 水冷 | |||||||
冷卻水 | 一次側(cè)壓力 | Mpa | ー | 0.3 | |||||
吸氣/ 排氣口壓差量 | Mpa | ー | 0.05 | ||||||
冷卻水量 | L/min | ー | 2 | 3 | |||||
水溫 *6 | ℃ | ー | 5~30 | ||||||
吸氣口 JIS B 2290 | VG50 相當(dāng) | VG80 相當(dāng) | VG100 相當(dāng) | VG200 相當(dāng) | |||||
排氣口 JIS-B-2290 | VF50 相當(dāng) | VF80 相當(dāng) | VF200 相當(dāng) | ||||||
外直徑(尺寸) | mm | 267×576×180 | 321×685×260 | 362×784×320 | 417×970×340 | 520×1260×460 | |||
重量 *7 | kg | 26 | 51 | 82 | 115 | 260 | |||
標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵 | VD401 | VD601 | VD901 | VS2401 | PKS-070B | VS650B | |||
符合規(guī)格 | CE, cTUVus | ||||||||
選配件 | 未經(jīng)表面處理的泵,緊定法蘭,大氣壓啟動類型(逆變器), 合成油或氟油類型,潤滑腔排空口,不同電壓電機(jī) | ||||||||
大氣壓驅(qū)動變頻器規(guī)格/ 電壓兼容 | 200V 級 | I2,A2/200V~240V(50Hz/60Hz) | |||||||
400V 級 | I4,A4/380V~480V(50Hz/60Hz) |
Note)此目錄使用 SI單位系統(tǒng)。 使用非 SI單位制的轉(zhuǎn)換如下。
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 × 10-3 Torr
*1 標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品沒有表面處理(陽極氧化涂層)。您也可以選擇表面處理作為選項。
*2 用皮拉尼真空計測定。 測量條件 : 標(biāo)準(zhǔn)后備泵和標(biāo)準(zhǔn)真空油。
( 使用 McLeod 真空計測量時約為 4.0×10-2 Pa。)
*3 只有 PMB100D 可以選擇 200V級或多電壓的電動機(jī)。 不能使用防爆電動機(jī)的多電壓選擇。
*4 空冷式的使用油是R-72。還可選礦物油R-72、氟油J25F。
*5 通過選擇變頻器安裝型號,將能夠在整個壓力范圍內(nèi)運行。
訂購變頻器規(guī)格時,請空冷或水冷規(guī)格。水冷逆變器無法進(jìn)行空冷運行。
對于PMB600D,1200D和2400D,在300 Pa至4,000 Pa的壓力范圍內(nèi)連續(xù)運行超過1小時可能會損壞泵。
在這種情況下,請選擇水冷規(guī)格。
*6 在無結(jié)露的環(huán)境中使用。
*7 有關(guān)其他尺寸,請訪問ULVAC網(wǎng)站并參考發(fā)布的CAD數(shù)據(jù)。
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