簡(jiǎn)要描述:新款ULVAC愛(ài)發(fā)科 通用隔膜型干泵 DTC系列 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
新款ULVAC愛(ài)發(fā)科 通用隔膜型干泵 DTC系列
新款ULVAC愛(ài)發(fā)科 通用隔膜型干泵 DTC系列
特點(diǎn)
通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,進(jìn)行腐蝕。
采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸,實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。
目的
半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
當(dāng)使用干泵時(shí)可選配,用于降低排氣噪音。
特點(diǎn)
大氣壓附近的排氣速度高,可以縮短排氣時(shí)間。
極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低
配有專用的消音器
極限壓力下的噪音水平為61 dB(A)或更低
無(wú)需先前所需要的軸封氣體
※L型可以使用稀釋氣體。
排氣速度120-1200 m3 / h級(jí) ※可與機(jī)械增壓泵結(jié)合使用
可以根據(jù)應(yīng)用選擇最佳排氣能力的型號(hào)
得點(diǎn)
出色的消音效果
可以通過(guò)卡箍連接到泵的排氣口
所有接觸氣體的部件全部采用PTFE與FPM材料。
適合吸排有腐蝕性或有機(jī)溶劑氣體。
高真空至1000Pa。
小型。
項(xiàng)目 | 單位 | 50Hz | 60Hz |
實(shí)際抽速 | L/min | 20 | 24 |
極限壓力 | Pa | 1.0×103 | |
kPa | -100.3 *1 | ||
電機(jī) | W | 50 | |
重量 | kg | 7 | |
進(jìn)出氣管道直徑 | mm | O.D.φ9×I.D.φ6 (G 1/4) | |
環(huán)境溫度 | ℃ | 0~40 | |
尺寸 | mm | 124(W) × 242(L) × 184(H) | |
RoHS對(duì)應(yīng) | ● |
電壓 | 認(rèn)證 | 備注 |
單相, 100V | ― | |
單相, 115V | ― | |
單相, 200V | ― | |
單相, 220V | ― | |
單相, 230V | ― |
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