簡要描述:日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列
日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列
特點
通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理,進行腐蝕。
采用ULVAC 設(shè)計的底座軸,實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。
目的
半導體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
型號 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
最大排氣速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 183(3100) | |||
60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
極限壓力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
最大排氣壓力(吸入圧力) | 大氣壓 | |||||||
最大排氣口壓力(排出圧力) | Pa | 1.0 ~ 大氣壓 | ||||||
吸氣口 | VG50 | VG80 | ||||||
排氣口 | NW40 | |||||||
DRP表面處理 | 〇 | |||||||
電機 | 輸出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
電壓 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
質(zhì)量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
冷卻方式 | 冷卻水 一次供給壓力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
冷卻水 出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||
冷卻水溫度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
氮氣 | 一次側(cè) 供給圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
二次側(cè) 調(diào)整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (運作時) | ||||||
軸 | SLM | 5.0 *4 |
*1 極限壓力是氮氣(軸封氣體)為5.0 SLM時的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計值。
*4 氮氣(軸封氣體)的流量固定為5.0SLM。
型號 | 材質(zhì) | 表面處理 | 重量(kg) | 法蘭接口 | GR60A | GR90A | GR180A | |
消音器 | RS-01+ 套件A | SUS304 | GBB處理 | 4.1 | KF40 | 〇 | 〇 | - |
RS-01+ 套件C | SUS304 | GBB處理 | 8.3 | KF40 | - | - | 〇 |
|
|
|
電話
微信掃一掃