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新產品ULVAC愛發(fā)科 通用螺桿型干泵MS600A

簡要描述:新產品ULVAC愛發(fā)科 通用螺桿型干泵MS600A
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

  • 產品型號:MS120A
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-08-10
  • 訪  問  量:93
詳情介紹

新產品ULVAC愛發(fā)科 通用螺桿型干泵MS600A

新產品ULVAC愛發(fā)科 通用螺桿型干泵MS600A

特點

通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理,進行腐蝕。

采用ULVAC 設計的底座軸,實現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

目的

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

規(guī)格

型式MS120AMS600AMS1200A
最大排氣速度*1立方米/小時115560980
累計重量≦0.6≦0.1
電源電壓200V級:3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V級:3相, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費電力概略值*2千瓦2.43.13.1
冷卻水量升/分鐘>4.0
吹掃氣體量 *1空間光調制器0~50
最大水蒸氣處理量*1*3公斤/小時1.5
噪音值*1分貝(聲級)616264
吸氣口KF50(臥式) / VG50(立式)ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40
質量 *4公斤139241264
適用規(guī)格CE、cTUVus
標準附屬產品快速手冊、電源連接器、防水電纜夾、遙控連接器、電源連接器防護罩、消音器
本體選配件電源:200V級或400V級
密封材質:FKM或FFKM
外部選配件包裝排氣口、防震支架、LR 兼容單元(入口、遠程)、吹掃氣閥

*1:到達壓力時
*2:極限壓力(僅供參考)
*3:凈化氣體使用時的最大水蒸氣處理量
*4:包括消音器


排氣速度曲線

  • MS120A
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  • MA600A
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  • MS1200A
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