簡要描述:新產品ULVAC愛發(fā)科 通用螺桿型干泵MS600A螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
新產品ULVAC愛發(fā)科 通用螺桿型干泵MS600A
新產品ULVAC愛發(fā)科 通用螺桿型干泵MS600A
特點
通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理,進行腐蝕。
采用ULVAC 設計的底座軸,實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。
目的
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
最大排氣速度*1 | 立方米/小時 | 115 | 560 | 980 |
累計重量 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
電源電壓 | 200V級:3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V級:3相, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
消費電力概略值*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
吹掃氣體量 *1 | 空間光調制器 | 0~50 | ||
最大水蒸氣處理量*1*3 | 公斤/小時 | 1.5 | ||
噪音值*1 | 分貝(聲級) | 61 | 62 | 64 |
吸氣口 | KF50(臥式) / VG50(立式) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
排氣口 | KF40 | |||
質量 *4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
適用規(guī)格 | CE、cTUVus | |||
標準附屬產品 | 快速手冊、電源連接器、防水電纜夾、遙控連接器、電源連接器防護罩、消音器 | |||
本體選配件 | 電源:200V級或400V級 密封材質:FKM或FFKM | |||
外部選配件 | 包裝排氣口、防震支架、LR 兼容單元(入口、遠程)、吹掃氣閥 |
*1:到達壓力時
*2:極限壓力(僅供參考)
*3:凈化氣體使用時的最大水蒸氣處理量
*4:包括消音器
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