簡要描述:直銷HORIBA堀場 排氣壓力控制器設(shè)備從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制保證高精度1秒內(nèi)高速響應(yīng)全量程(T98) 尺寸緊湊,
直銷HORIBA堀場 排氣壓力控制器設(shè)備
直銷HORIBA堀場 排氣壓力控制器設(shè)備
對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微小壓力控制,還可以進(jìn)行流量測量。
業(yè)務(wù)部門:半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別:流體控制
制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd. 通過使用經(jīng)過驗(yàn)證的電容式壓力傳感器,可以在低壓下進(jìn)行精確的壓力控制。
壓力控制期間高精度監(jiān)控氣體流量。
對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微壓差控制,還可以進(jìn)行流量測量。
業(yè)務(wù)部門:半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別:流體控制
制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.
供貨精準(zhǔn)穩(wěn)定
配備質(zhì)量
流量傳感器配備質(zhì)量流量控制器中廣泛使用的質(zhì)量流量傳感器,可以以與原料氣體供應(yīng)過程相同的精度監(jiān)控實(shí)際流量。
與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸
與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸和配件兼容,因此可以進(jìn)行類似的設(shè)計(jì)和構(gòu)造。
符合RoHS指令
這是一款配備數(shù)字控制電路的自動壓力調(diào)節(jié)器,該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應(yīng)壓電閥。
采用全金屬結(jié)構(gòu)(氣體接觸部分)和無死體積結(jié)構(gòu),可對腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進(jìn)行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用外部信號進(jìn)行遠(yuǎn)程控制,非常適合安裝在需要全面氣體控制的系統(tǒng)中,例如需要全面性能評估的氣體傳感器和耐壓評估系統(tǒng)。
互動規(guī)模 | 西北40 |
---|---|
氣體接觸材料 | SUS-316L、Viton® |
電導(dǎo) (真空區(qū)域) | 0.4~80升/秒 |
流出量100mmH2O (全閉) | 20升/分鐘 |
互動規(guī)模 | 西北50 |
---|---|
氣體接觸材料 | SUS-316L、Viton® |
電導(dǎo) (真空區(qū)域) | 0.6~200升/秒 |
流出量100mmH2O (全閉) | 25升/分鐘 |
互動規(guī)模 | 25mm Teflon® 接頭 1 英寸 Teflon® 接頭 |
---|---|
氣體接觸材料 | PTFE、PEEK、Viton® |
電導(dǎo) (真空區(qū)域) | 0.4~80升/秒 |
流出量100mmH2O (全閉) | 3升/分鐘 |
電話
微信掃一掃