簡要描述:直銷HORIBA堀場 質(zhì)量流量計驅(qū)動電源從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制保證高精度1秒內(nèi)高速響應(yīng)全量程(T98) 尺寸緊湊,
直銷HORIBA堀場 質(zhì)量流量計驅(qū)動電源
直銷HORIBA堀場 質(zhì)量流量計驅(qū)動電源
在整個流量范圍內(nèi)(上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值)響應(yīng)時間為 100 毫秒或更短
自診斷多重診斷功能
改進的壓力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)
兼容環(huán)境溫度范圍廣(15-60℃)
0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度
提供了過程優(yōu)化和靈活性。
小于500毫秒的高速響應(yīng)
級別,
尺寸僅為其他公司的 1/20,傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設(shè)備中
該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分,具有的結(jié)構(gòu),盡管其尺寸最小,但仍實現(xiàn)了高靈敏度。
低真空(高壓)操作
當(dāng)測量總壓力高達 0.5 Pa(對于 2-65 m/z 傳感器)時,無需準(zhǔn)備額外的差壓泵系統(tǒng)。
用戶可更換的傳感器
校準(zhǔn)過濾器可以在現(xiàn)場輕松更換,無需拆卸設(shè)備。
一臺安裝了專用通信
軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設(shè)備。它還具有適合設(shè)備集成的模擬輸入/輸出。
用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發(fā)的,可實現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。
這是質(zhì)量流量計專用的監(jiān)控單元。
業(yè)務(wù)部門:半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別:流體控制
制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.
特征
規(guī)格
流量報警輸出功能 外部輸出:集電極開路
流量信號輸出:0~5VDC
流量顯示輸出功能
輸入電源:AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX
尺寸:48(W) x 96(H) x 170(D)mm(不包括突出部分)
適用標(biāo)準(zhǔn) 安全標(biāo)準(zhǔn):符合 CE 標(biāo)志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環(huán)境兼容性:符合 RoHS 指令
兼容數(shù)字/模擬通信模型
PE-10系列
●與模擬通訊設(shè)備兼容。
輸入電源:AC100~240V 50/60Hz
1臺驅(qū)動PE-11 (20VA MAX)
4臺驅(qū)動PE-14 (70VA MAX)
6臺驅(qū)動PE-16 (100VA MAX)
PE-20系列
●用于數(shù)字/模擬通信設(shè)備一致。
電源輸入:AC100~240V 50/60Hz
1臺驅(qū)動PE-21 (30VA MAX)
4臺驅(qū)動PE-24 (90VA MAX)
6臺驅(qū)動PE-26 (140VA MAX)
●可為各驅(qū)動裝置設(shè)置流量上限和下限報警。使用內(nèi)置音量控制進行警報設(shè)置。
●兼容數(shù)字/模擬通訊設(shè)備。
電源輸入:AC100~240V 50/60Hz
1臺驅(qū)動PE-31A (30VA MAX)
4臺驅(qū)動PE-34A (90VA MAX)
6臺驅(qū)動PE-36A (140VA MAX)
●電流控制:可進行4~20mA,并可利用模擬信號進行遠(yuǎn)距離控制。
●可為各驅(qū)動裝置設(shè)置流量上限和下限報警。使用內(nèi)置音量控制進行警報設(shè)置。
●兼容數(shù)字/模擬通訊設(shè)備。
電源輸入:AC100~240V 50/60Hz
1臺驅(qū)動PE-31S (30VA MAX)
4臺驅(qū)動PE-34S (90VA MAX)
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