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池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置

簡要描述:池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置
USHIO 一直提供專門用于服務(wù)器、個(gè)人電腦、智能手機(jī)和平板電腦等移動(dòng)設(shè)備中使用的 封裝應(yīng)用的步進(jìn)機(jī)。這是一款封裝基板用步進(jìn)機(jī),采用了Ushio多年來積累的光源和光學(xué)技術(shù)以及我們 的大面積投影透鏡技術(shù),并使用了與面板尺寸相對應(yīng)的平臺。它實(shí)現(xiàn)了高生產(chǎn)率,同時(shí)實(shí)現(xiàn)了封

  • 產(chǎn)品型號:UX 4486SC
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-08-06
  • 訪  問  量:117
詳情介紹

池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置

池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置

USHIO 一直提供專門用于服務(wù)器、個(gè)人電腦、智能手機(jī)和平板電腦等移動(dòng)設(shè)備中使用的封裝應(yīng)用的步進(jìn)機(jī)。這是一款封裝基板用步進(jìn)機(jī),采用了Ushio多年來積累的光源和光學(xué)技術(shù)以及我們 的大面積投影透鏡技術(shù),并使用了與面板尺寸相對應(yīng)的平臺。它實(shí)現(xiàn)了高生產(chǎn)率,同時(shí)實(shí)現(xiàn)了封裝基板所需的高分辨率和覆蓋精度。

[元件技術(shù)]

配備全球占有率第一的超高壓UV燈

具有高均勻性的 照射光學(xué)系統(tǒng)

的大面積投影鏡頭

響應(yīng)基板特定畸變的對準(zhǔn)技術(shù)

的TTL非曝光波長/對準(zhǔn)方法

Ushio的技術(shù)“TTL非曝光波長對準(zhǔn)"在觀察掩模標(biāo)記時(shí)無需暴露基板上的對準(zhǔn)標(biāo)記。此外,由于可以直接觀察工件標(biāo)記,因此不會(huì)因掩模而降低對比度,并且可以與清晰的標(biāo)記進(jìn)行高精度對準(zhǔn)。

兼容多種對準(zhǔn)標(biāo)記

由于支持對已登記圖案的圖案匹配,因此無需專用對準(zhǔn)標(biāo)記,即可與各種布線圖案進(jìn)行對準(zhǔn)。

高分辨率能力

配備Ushio投影鏡頭“UPL系列"以實(shí)現(xiàn)高分辨率。支持全面量產(chǎn),設(shè)計(jì)規(guī)則線距=5μm。

深景深

由于焦點(diǎn)深度較深(±50 至 100 μm),因此即使由于基板的臺階、翹曲或波紋而導(dǎo)致焦點(diǎn)偏離,也可以獲得與正確對焦時(shí)相同的圖案輪廓。當(dāng)曝光較厚的干膜、阻焊劑等時(shí)尤其有效。

使用表面平臺進(jìn)行高速步進(jìn)和重復(fù)

通過使用精密空氣軸承消除摩擦,并通過平面電機(jī)結(jié)構(gòu)使運(yùn)動(dòng)部件更輕、更堅(jiān)固,實(shí)現(xiàn)了高速步進(jìn)重復(fù)操作。此外,表面平臺使用激光干涉儀進(jìn)行反饋控制,實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)行和高定位精度。

面罩無損傷

UX-4系列陣容

模型UX-4486SCUX-44101SCUX-4423SCUX-4459SCUX-4440SCUX-4438SCUX-4458SCUX-4477SC
面罩尺寸□5英寸□7英寸、□5英寸□9英寸、□7英寸
晶圓尺寸φ4英寸φ6英寸、φ4英寸φ8英寸、φ6英寸
解決7μm長/秒2μm長/秒9μm長/秒6μm長/秒5μm長/秒12μm長/秒6μm長/秒4μm長/秒
總體疊加精度±1.0μm L/S±1.0μm L/S±1.0μm L/S±1.0μm L/S±2.0μm L/S±1.0μ;m L/S±1.0μm L/S±1.0μm L/S
曝光波長洲際線我行洲際線我行我行洲際線我行我行
吞吐量120W/小時(shí)
選項(xiàng)背面對準(zhǔn)、IR對準(zhǔn)、掩模庫、特殊晶圓支撐


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