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全新ORC歐阿希 VUM-3500半導體用UV照射設備
全新ORC歐阿希 VUM-3500半導體用UV照射設備
它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。
這是一種小型、輕量的手持式,可讓您輕松管理曝光設備的照度和光量??梢暂p松測量紫外線照度和光強度。根據(jù)您正在使用(或計劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。
采用254nm波長, 去除電荷。
單波長允許低溫處理。
用低入射角紫外線有效照射目標區(qū)域。
提高了LSI的成品率和可靠性。
閃存、其他非易失性存儲器、圖像傳感器等的電荷去除和數(shù)據(jù)擦除。
這是一種小型、輕量的手持式,可讓您輕松管理曝光設備的照度和光量??梢暂p松測量紫外線照度和光強度。根據(jù)您正在使用(或計劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。
模型 | VUM-3500 |
---|---|
晶圓尺寸 | Φ300毫米(標準) |
同時處理數(shù) | 15 件 |
盒式磁帶格式 | 晶圓傳送盒 |
晶圓運輸 | 自動輸送 |
燈數(shù)量 | 20 件 |
照度測量 | 自動測量 |
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