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原裝 ROOKS 長(zhǎng)期穩(wěn)定性壓力控制器 SLAMf-10
原裝 ROOKS 長(zhǎng)期穩(wěn)定性壓力控制器 SLAMf-10
一臺(tái)設(shè)備支持多種氣體,最大限度地提高工藝靈活性和生產(chǎn)率。 系列彈性密封質(zhì)量流量控制器/儀表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技術(shù),非常適合使用多種氣體、經(jīng)常更改氣體類型或保持氣體測(cè)量和控制精度的應(yīng)用,是系統(tǒng)、過程和設(shè)施的理想選擇。需要重新確定范圍。憑借的流量測(cè)量和控制性能,將您的過程靈活性提升到一個(gè)新的水平。
利用 MultiFlo™ 技術(shù)最大限度地延長(zhǎng)工藝生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間,該技術(shù)支持新的氣體校準(zhǔn)和滿量程范圍,而無需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)。
簡(jiǎn)單易懂的 MultiFlo™ 編程:60 秒內(nèi)即可在不同氣體選擇之間切換
減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫(kù)存
通過基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測(cè)量系統(tǒng)和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)的過程氣體精度
耐腐蝕傳感器提供傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,確保最大產(chǎn)量和吞吐量
用戶可訪問的服務(wù)端口簡(jiǎn)化了故障排除和診斷
彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應(yīng)用中提供靈活的性能
支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中
利用 MultiFlo™ 技術(shù)最大限度地延長(zhǎng)工藝生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間,該技術(shù)支持新的氣體校準(zhǔn)和滿量程范圍,而無需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)
適用于各種非腐蝕性氣體
快速響應(yīng)時(shí)間確保即使在工藝配方更改期間也能快速采取步驟
OEM 的理想選擇:尺寸緊湊,可輕松集成到狹小的機(jī)器空間中并加快安裝速度
可選的本地操作員界面 (LOI) 是用于本地查看、設(shè)定點(diǎn)控制和設(shè)備配置的統(tǒng)包解決方案。無需遠(yuǎn)程輔助電子設(shè)備。
多種通訊選項(xiàng)可滿足您的要求
采用與大多數(shù)氣體和液體兼容的硼硅酸鹽玻璃管
浮子材料包括黑玻璃、316不銹鋼、藍(lán)寶石、Carboloy®、鉭等。
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