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日本 ROOKS布魯克斯儀器 經(jīng)濟高效的氣體流量測量 5700
日本 ROOKS布魯克斯儀器 經(jīng)濟高效的氣體流量測量 5700
一臺設備支持多種氣體,最大限度地提高工藝靈活性和生產(chǎn)率。 系列彈性密封質(zhì)量流量控制器/儀表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技術,非常適合使用多種氣體、經(jīng)常更改氣體類型或保持氣體測量和控制精度的應用,是系統(tǒng)、過程和設施的理想選擇。需要重新確定范圍。憑借的流量測量和控制性能,將您的過程靈活性提升到一個新的水平。
利用 MultiFlo™ 技術最大限度地延長工藝生產(chǎn)正常運行時間,該技術支持新的氣體校準和滿量程范圍,而無需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)。
簡單易懂的 MultiFlo™ 編程:60 秒內(nèi)即可在不同氣體選擇之間切換
減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫存
通過基于全球標準的高性能測量系統(tǒng)和校準實現(xiàn)的過程氣體精度
耐腐蝕傳感器提供傳感器的長期穩(wěn)定性,確保最大產(chǎn)量和吞吐量
用戶可訪問的服務端口簡化了故障排除和診斷
彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應用中提供靈活的性能
支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中
利用 MultiFlo™ 技術最大限度地延長工藝生產(chǎn)正常運行時間,該技術支持新的氣體校準和滿量程范圍,而無需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)
適用于各種非腐蝕性氣體
快速響應時間確保即使在工藝配方更改期間也能快速采取步驟
OEM 的理想選擇:尺寸緊湊,可輕松集成到狹小的機器空間中并加快安裝速度
可選的本地操作員界面 (LOI) 是用于本地查看、設定點控制和設備配置的統(tǒng)包解決方案。無需遠程輔助電子設備。
多種通訊選項可滿足您的要求
僅用于測量
流量范圍廣
不銹鋼氣體接觸材料
單側(cè)電源輸入
0.5V輸出信號
電話
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