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池田屋 ROOKS 模塊化設(shè)計(jì)控制儀器儀表 SLA5851
池田屋 ROOKS 模塊化設(shè)計(jì)控制儀器儀表 SLA5851
一臺(tái)設(shè)備支持多種氣體,最大限度地提高工藝靈活性和生產(chǎn)率。 GF40 系列彈性密封質(zhì)量流量控制器/儀表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技術(shù),非常適合使用多種氣體、經(jīng)常更改氣體類型或保持氣體測(cè)量和控制精度的應(yīng)用,是系統(tǒng)、過(guò)程和設(shè)施的理想選擇。需要重新確定范圍。憑借的流量測(cè)量和控制性能,將您的過(guò)程靈活性提升到一個(gè)新的水平。
利用 MultiFlo™ 技術(shù)最大限度地延長(zhǎng)工藝生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間,該技術(shù)支持新的氣體校準(zhǔn)和滿量程范圍,而無(wú)需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)。
簡(jiǎn)單易懂的 MultiFlo™ 編程:60 秒內(nèi)即可在不同氣體選擇之間切換
減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫(kù)存
通過(guò)基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測(cè)量系統(tǒng)和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)的過(guò)程氣體精度
耐腐蝕傳感器提供傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,確保最大產(chǎn)量和吞吐量
用戶可訪問(wèn)的服務(wù)端口簡(jiǎn)化了故障排除和診斷
彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應(yīng)用中提供靈活的性能
支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中
利用 MultiFlo™ 技術(shù)最大限度地延長(zhǎng)工藝生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間,該技術(shù)支持新的氣體校準(zhǔn)和滿量程范圍,而無(wú)需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)。
簡(jiǎn)單易懂的 MultiFlo™ 編程:60 秒內(nèi)即可在不同氣體選擇之間切換
減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫(kù)存
通過(guò)基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測(cè)量系統(tǒng)和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)的過(guò)程氣體精度
耐腐蝕傳感器提供傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,確保最大產(chǎn)量和吞吐量
用戶可訪問(wèn)的服務(wù)端口簡(jiǎn)化了故障排除和診斷
彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應(yīng)用中提供靈活的性能
支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中
流量范圍(滿量程容量)3 sccm - 50 slpm
準(zhǔn)確性
SP 35-100% 的 1%,F(xiàn)S 2-35% 的 0.35%
再現(xiàn)性
0.20% SP
線性度
±0.5% FS(包含在精度內(nèi))
響應(yīng)時(shí)間
常閉閥:300 毫秒 -<1 秒
多氣體多范圍MultiFlo™ 可用
控制范圍
2-100%
垃圾箱數(shù)量
10 個(gè)垃圾箱
閥門關(guān)閉
當(dāng)設(shè)定點(diǎn)低于滿量程的 1.5% 時(shí)關(guān)閉閥門
零穩(wěn)定性每年 <±0.5% FS
壓力系數(shù)
0.03% 每 psi (0-50psi N2 )
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