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淘淘西直銷(xiāo)!日本UNITEMP/尤尼坦頂裝式 真空工藝快速加熱爐VPO-1000-300

簡(jiǎn)要描述:淘淘西直銷(xiāo)!日本UNITEMP/尤尼坦頂裝式 真空工藝快速加熱爐VPO-1000-300

頂裝式真空工藝快速加熱爐
兼容Φ300mm(12英寸)晶圓
最高溫度達(dá)到1000℃
最大加熱速率 40K/秒。
設(shè)備尺寸:505 x 505 x 830 毫米(寬x深x高)
設(shè)備重量:約105公斤

  • 產(chǎn)品型號(hào):VPO1000-300
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間:2024-05-17
  • 訪  問(wèn)  量:242
詳情介紹

淘淘西直銷(xiāo)!日本UNITEMP/尤尼坦頂裝式 真空工藝快速加熱爐VPO-1000-300淘淘西直銷(xiāo)!日本UNITEMP/尤尼坦頂裝式 真空工藝快速加熱爐VPO-1000-300



觸摸屏型Φ12英寸兼容真空/工藝氣體

高速退火加熱系統(tǒng)VPO-1000-300

VPO-1000-300工藝氣體高速退火爐

VPO-1000-300

工藝氣體快速退火爐

設(shè)備尺寸:505 x 505 x 570毫米(寬x深x高)

設(shè)備重量:約105公斤


除了原型開(kāi)發(fā)應(yīng)用之外,它還可以集成到與 N2、H2 和甲酸兼容的在線系統(tǒng)中。與真空回流退火工藝和 LTO 燒結(jié)兼容!


加熱區(qū)上下設(shè)有IR(紅外線)型加熱器,最高溫度可達(dá)1000℃,并可高速升溫40K/秒。采用氮?dú)獯祾叻绞降睦鋮s方式,降溫速度高達(dá)190K/min。

觸摸屏用于輪廓程序控制。

除了創(chuàng)建溫度控制、氣體流量 (MFC)、真空控制等配置文件程序外,您還可以保存過(guò)程數(shù)據(jù)。

它可以加熱最大300x300mm或Φ300mm的物體。


真空工藝快速加熱爐,盡管其桌面尺寸,最高溫度可達(dá)1000℃。

兼容氮?dú)獯祾摺⒀鯕獯祾?、合成氣(氫?氮?dú)猓┐祾叩取?/span>

由于工作區(qū)域是氣體保護(hù)的,因此可用于存在污染問(wèn)題的工藝或其他關(guān)鍵工藝。

加熱由頂部和底部的 48 個(gè) IR(紅外線)加熱器進(jìn)行,可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確、快速的加熱。

與適當(dāng)?shù)恼婵毡媒M合,可實(shí)現(xiàn)高達(dá)0.1Pa(10-3hPa)的真空環(huán)境。

兼容氮?dú)獯祾叻ǖ臏囟认陆?/span>

標(biāo)準(zhǔn)配備觸摸屏顯示器。通過(guò)觸摸操作輕松操作

主機(jī)上最多可注冊(cè)50個(gè)50段(行)的溫度控制程序。

可與上下料機(jī)、機(jī)器人等組合集成到生產(chǎn)線中。


最高溫度達(dá)到1000℃

標(biāo)準(zhǔn)配備設(shè)備外殼冷卻裝置。在確保安全的同時(shí),最高溫度可達(dá)1000℃。因此,它不僅可以輕松應(yīng)對(duì) SiAu、SiAl 和 SiMo 等退火工藝,還可以輕松應(yīng)對(duì)糊料材料等燒結(jié)工藝。

兼容高速加熱/冷卻

配備高速紅外線(IR)加熱器,最高可升溫至每分鐘2400℃以上(每秒40℃以上)。當(dāng)然,也可以以輪廓程序的任何速率升高溫度。另外,在降溫過(guò)程中,通過(guò)向腔室中供應(yīng)冷卻氮?dú)?,可以安全地進(jìn)行冷卻,而不會(huì)損壞處理后的器件表面。

兼容各種氣體吹掃環(huán)境

最多可以安裝4個(gè)MFC(質(zhì)量流量控制器)系統(tǒng),因此除了真空或大氣環(huán)境之外,還可以在任何工藝氣體吹掃環(huán)境中進(jìn)行退火。不僅可以在配置文件程序中注冊(cè)各種氣體系統(tǒng)的開(kāi)/關(guān)控制,還可以注冊(cè)其流量,從而可以輕松再現(xiàn)各種環(huán)境。

簡(jiǎn)單的溫度曲線設(shè)置

標(biāo)配7英寸觸摸屏。任何控制配置文件程序都可以在觸摸面板上創(chuàng)建和保存,無(wú)需單獨(dú)的外部 PC。最多可注冊(cè)并執(zhí)行 50 個(gè) 50 個(gè)步驟的溫度控制程序。此外,標(biāo)準(zhǔn)配置還包括將實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)保存到 USB 存儲(chǔ)器的功能。通過(guò) USB 存儲(chǔ)器也可以輕松地將實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)移動(dòng)到任何 PC。

垂直室開(kāi)/關(guān)

腔體可通過(guò)兩側(cè)操作按鈕手動(dòng)開(kāi)啟和關(guān)閉,也可通過(guò)外部信號(hào)自動(dòng)開(kāi)啟和關(guān)閉,因此可串聯(lián)安裝。





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