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原廠HORIBA堀場 高速響應(yīng)壓電閥 從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保證高精度 1秒內(nèi)高速響應(yīng) 全量程（T98） 尺寸緊湊，

日本HORIBA堀場 數(shù)顯自動壓力調(diào)節(jié)器 UR-Z700系列 從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保證高精度 1秒內(nèi)高速響應(yīng) 全量程（T98） 尺寸緊湊，

全新HORIBA堀場 晶圓背面壓力控制系統(tǒng)設(shè)備 GR-300系列 從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保證高精度 1秒內(nèi)高速響應(yīng) 全量程（T98） 尺寸緊湊，

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池田屋HORIBA堀場 內(nèi)置輻射溫度計 從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保證高精度 1秒內(nèi)高速響應(yīng) 全量程（T98） 尺寸緊湊，